Настольный ультрафиолетовый (УФ) озоновый очиститель с нагревателем подложки для очистки всех типов подложек

Функции

TMAX-PCE-22 представляет собой настольный ультрафиолетовый (УФ) озоновый очиститель с нагревателем подложки , который используется для очистки всех типов поверхностей для достижения лучшего качества тонкой пленки при низких затратах. Кроме того, это отличный инструмент для удаления и снятия фоторезиста, улучшения смачиваемости поверхности, очистки SEM & Образцы ПЭМ, УФ-активация полимера, сборка и т. д.

УФ-озоновый очиститель доказал свою эффективность. высокоэффективный для некислотной, сухой, неразрушающей атомной очистки и удаления органических загрязнений с использованием интенсивного УФ-излучения с длиной волны 185 нм и 254 нм . На воздухе и при комнатной температуре линия 185 производит озон, а линия 254 возбуждает органические молекулы на поверхности. Эта комбинация приводит к быстрому разрушению и уничтожению органических загрязнителей.

Характеристики

Входная мощность	· 220 В переменного тока, 50/60 Гц (по запросу доступно 110 В переменного тока) · Мощность 350 Вт Макс.
Требования к окружающей среде	· Использование только в помещении; Использование на высоте до 5500 футов; · Температурный диапазон 41-104 градусов по Фаренгейту; · Максимальная относительная влажность 80%, до 87 градусов по Фаренгейту, линейно уменьшающаяся до 50% относительной влажности при 104 градусах по Фаренгейту; · Колебания основного напряжения не более 10% от номинального напряжения; Категория перенапряжения II; · Степень загрязнения 2; измерение уровня озона (окружающего воздуха) при <45 частей на миллиард.
УФ-лампа	· Цельнометаллическая двухволновая ртутная лампа · Длина волны: 253,7 нм и 184,9 нм · Срок службы УФ-лампы: 5000 часов · Площадь УФ-света: 200 x 200 мм · Может очищать хрустальную пластину диаметром до 12 дюймов и толщиной 35 мм. · УФ-лампа поставляется отдельно с машиной во избежание возможных повреждений при транспортировке.
Камера &amp; Этап образца	· Корпус из нержавеющей стали · Выдвижной ящик для легкой загрузки образцов · Площадь предметного столика образца составляет 310 мм x 320 мм (~12 x 12 дюймов). · Макс. толщина образца: 40 мм · Устройство для выпуска озона встроено в камеру · Таймер колеблется от 0,01 секунды до 99,9 часов.
Нагреваемый столик для образцов	· Предметный столик для образцов нагревается до 150ºC с помощью точного регулятора температуры · Регулятор температуры состоит из 20 сегментов, программируемых с точностью +/-2 C. · Равномерность температуры: <10C в пределах 6 дюймов в диаметре; &lt;20°C в пределах 12 дюймов в диаметре · Скорость нагрева: макс. 15C. · Расстояние между предметным столиком и лампой регулируется от 20 мм до 40 мм.
Вентиляционный порт	· Вентиляционное отверстие диаметром 3 дюйма встроено в заднюю часть машины · В комплект входит одна гибкая труба длиной 10 футов и один вентиляционный зажим для подключения выхлопа очистителя к лабораторной вентиляционной системе.
Измерение	· 510 мм x 350 мм x 400 мм (Ш x В x Г)
Вес нетто	· 62 фунта
Вес в упаковке и усилитель; Габаритные размеры	· 160 фунтов · 47" х 39" х 32"
Гарантия	2 года ограниченной гарантии с пожизненной поддержкой. Хрупкая УФ-лампа не входит в гарантию.
Заявление	· Чистая кремниевая пластина, пластина арсенида галлия, кварц и стекло ITO · Очистите все типы оксидных монокристаллических подложек, таких как сапфир, STO и LAO. · Чистая поверхность золота и Pt · Окисляющая поверхность легкого металлического материала · Активировать полимеры и полимеры с поперечными связями · Фоторезист УФ-полосы / Фоторезист · Светодиодные экраны УФ-чистой производственной линии