Лабораторная двухзонная печь CSS для быстрой термической обработки диаметром до 3 дюймов и температурой 650ºC.

OTF-1200X-RTP-II представляет собой двухзонную печь для быстрой термической обработки с кварцевой трубкой с наружным диаметром 11 дюймов. Она предназначена для PVD или CSS ( Сублимация с близким интервалом ) пленочное покрытие до 3" в диаметре или 2"x2" квадрат. Печь обогревается двумя группами галогенных нагревателей (Верхний и Нижний) по отдельности со скоростью нагрева не более 20ºC/с. Встроены два 30-сегментных прецизионных регулятора температуры с Точность +/-1ºC Порт RS485 и управляющее программное обеспечение входят в комплект поставки, что позволяет управлять печью и регистрировать профиль температуры через ПК Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как CdTe, сульфид и P эровскитовый солнечный элемент.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Структура печи & Вакуумная камера	· Двойной нагреватель, два регулятора температуры, двухканальные газовые расходомеры встроены в мобильную раму из алюминиевого сплава. · Камера изготовлена ​​из плавленого кварца высокой чистоты. · Размер кварцевой трубки: внешний диаметр 11 дюймов / внутренний диаметр 10,8 дюйма x высота 9 дюймов. · Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316. · Габаритные размеры: 850(Д)×745(Ш)×1615(В) мм
Вакуумные фланцы	· Верхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и двумя выходными отверстиями для газа (требуется труба 1/4 дюйма) может перемещаться вверх или вниз вручную для легкой загрузки и выгрузки субстрата и испаряемого материала. · Нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с двумя входами для газа (требуется труба 1/4 дюйма) и игольчатые клапаны. · Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать максимального вакуумного давления 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос не входит в комплект, заказывайте отдельно) · Прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр в стандартной упаковке (с 24.03.2016) .
Расходомеры газа	На щите управления установлены два поплавковых счетчика с диапазоном измерения: · 16 -160 мл/м · 400 - 4000 мл/м (для продувки)
Нагреватель и держатель образца	· Две коротковолновые ИК-лампы в качестве нагревательных элементов для быстрого нагрева. · Расстояние между двумя нагревателями регулируется от 10 до 50 мм. · Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной охлаждающей рубашкой для уменьшения теплового излучения и обеспечения быстрого охлаждения. · 3-дюймовый круглый держатель для вафель встроенный с верхним нагревателем для загрузки подложки · В комплект входит одна пластина AlN с высокой теплопроводностью (диаметр 3 дюйма и толщина 0,5 мм), которую необходимо положить на заднюю часть подложки, чтобы обеспечить ее равномерный нагрев. · В качестве альтернативы пластине AIN можно использовать одну 3-дюймовую графитовую пластину. Чтобы заказать, нажмите на картинку ниже. · Замена галогенного обогревателя возможна за дополнительную плату.
Регулятор температуры	· Два прецизионных цифровых контроллера температуры с 30 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями. · Каждый контроллер имеет функцию автоматической настройки ПИД-регулятора для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию аварийной сигнализации, чтобы избежать перегрева и разрыва термопары. · Интерфейс связи с ПК и усилитель; Программное обеспечение установлено для (щелкните изображение ниже для получения подробной информации) записи температурного профиля, показанного ниже
Рабочая температура	· Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 650ºC · Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями: о Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315ºC при нагреве только снизу о Расстояние 40 мм Макс. разница температур: 350ºC при нагреве только снизу о Расстояние 50 мм Макс. разница температур: 395ºC при нагреве только снизу
Отопление & Скорость охлаждения	· Отопление: < 8ºC/с (нагрев только одного нагревателя) · Охлаждение: < 10ºC/с (600–100ºC) Макс.
Термальная пара	Две термопары типа К (открытые) устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели.
Рабочее напряжение	208–240 В переменного тока, одна фаза, воздушный выключатель 20 А
Требования к мощности	Всего 2200 Вт (по 1100 Вт на каждый нагреватель)
По желанию	· Требуется один вакуумный насос. Пожалуйста, заказывайте отдельно, нажав на первое изображение слева внизу. Уровень вакуума может достигать < = 10E-2 торр механическим насосом · Если вы работаете с агрессивным газом, рассмотрите возможность использования антикоррозионного сухого насоса, показанного на втором рисунке слева ниже (насос Pfeiffer из Германии) за дополнительную плату. · Охладитель оборотной воды для экономии источника воды можно заказать отдельно · Вы можете выбрать цифровую систему газоснабжения МТЦ, нажав на первую картинку справа внизу
Гарантия	Один год с пожизненной поддержкой (расходные детали, такие как кварцевая трубка и нагревательные лампы, не покрываются гарантией)
Ноутбук, программное обеспечение и усилитель; Управление Wi-Fi (опционально)	· Совершенно новый ноутбук с Microsoft Window 10 и Microsoft Office 2013 (30-дневная бесплатная пробная версия) для немедленного использования. · Система контроля температуры на базе Labview ( EQ-MTS01 ) позволяет пользователю редактировать температурный профиль, управлять рецептами термообработки, записывать и отображать данные для печей MTI. · Беспроводной пульт дистанционного управления обеспечивает радиус действия до 300 метров. · Вышеуказанные функции доступны по запросу и за дополнительную плату (до 1000 долларов США). Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. · Примечание: Программное обеспечение совместимо только с контроллером температуры Yudian от MTI. ·
Примечания по применению	Пожалуйста, прочитайте статью: Высокоэффективная солнечная батарея CSS CdTe
Предупреждение	· Трубчатые печи с кварцевой трубкой предназначены для работы в условиях вакуума и низкого давления < 0,2 бара / 3 фунта на кв. дюйм / 0,02 МПа. Вакуумное давление можно безопасно использовать только до 1000°C. Скорость потока газов должна быть ограничена до < 200 SCCM (или 200 мл/мин) для снижения термических ударов по трубке. · Внимание : На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления, чтобы ограничить давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы.