Ультразвуковая высоковакуумная машина для термического испарения с четырьмя источниками нагрева (10-6 торр)

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Вход & Выходная мощность	· Вход: 208–240 В переменного тока, 20 А, 50/60 Гц, одна фаза · Требуемая общая мощность: 8 кВт (включая насос) · другие 3 фазы напряжения доступны по запросу · Выход: 5 В переменного тока макс. и 300А макс.
Вакуумная камера	· Камера из нержавеющей стали: внутренний диаметр 280 мм. x 375 мм Высота, (~23 литра) Пескоструйная электролитическая полировка поверхности · 100 мм смотровое окно перед камерой · Дверь на петлях для легкой загрузки образцов · Сверху каждой выпарной лодочки W находятся жалюзи с ручным управлением, которые позволяют выпаривать 4 вида материала один за другим. · 4 встроенных в камеру порта KF40 для подключения к необходимому устройству
Вакуумный насос	· Высокоскоростной турбовакуумный насос включен и соединен с вакуумной камерой. (пожалуйста, нажмите на картинку слева выше) о Скорость вакуума: 600 л/с о Уровень вакуума: 5,0x10 -6 Торр (после 40 минут прокачки) о Предельный вакуум: 5,0x10 -7 Торр (после обжига при 100-150°С) о Скорость утечки: 5,0x10 -7 Па. о Вакуумный порт: диаметр 150 мм
Источник испарения &ампер; Держатель образца	· Включены четыре вольфрамовых нагревательных лодочки, поддерживаемые электродами с водяным охлаждением. · Вольфрамовая нагревательная лодочка имеет размеры 70 мм Д x 12 мм Ш x 3 мм В 。 Запасная лодка W доступна за дополнительную плату. 。 · Каждая верхняя часть лодки имеет затвор с ручным управлением. · Встроенный ручной затвор позволяет использовать источник испарения без загрязнения · Вращающийся держатель образца диаметром 100 мм находится в верхней части камеры диаметром 260 мм, которая может быть нагрета до максимальной температуры 600°C. с помощью цифрового регулятора температуры с точностью +/1 °C · Расстояние между источником испарения и держателем образца регулируется в пределах 150-300 мм.
Контроль толщины （ по желанию ）	· Один монитор толщины пленки с высоким разрешением и контроллер не являются обязательными. （ Нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть подробные характеристики) · Точность контроля толщины 1,0А
Устройство управления	· Вакуум, толщина и контроль мощности интегрированы в один блок управления · Блок управления отделен от вакуумной камеры для удобства перемещения · Вы можете разместить блок управления на верхней части вакуумной станции.
Габаритные размеры	Д600мм× Ш860мм× В1500мм
Вес нетто	600 кг
Требования к помещению для установки	· Пространство: 250 SF с высотой > 6 футов · Мощность: 208–240 В переменного тока, однофазная, макс. 10 кВт (выключатель 50 А) · Вода: > Для охлаждения электрода требуется проточная вода 15 л/мин. Вы можете заказать чиллер с рециркуляцией воды для экономии воды, нажав на картинку ниже, за дополнительную плату.
Примечания по применению	· Проверьте гибкость тонкой пленки/электрода с покрытием с помощью EQ-MBT-12-LD прибор для испытаний на изгиб оправки . ·
Гарантия & усилитель; Сертификат	Два года ограниченной гарантии с пожизненной поддержкой CE сертифицирован