• WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
Продукция
PECVD Furnace

3-х температурная зона 150 мм печи

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200

  • Оплата:

    L/C D/A D/P T/T Western Union

  • Delivery Time:

    5 days
  • WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • Wechat : 18659217588
Сведения о продукте

3-х температурная зона 150 мм печи


Тмакс-1200-1200-1200 система Состоит из вакуумной трубчатой ​​печи TL1200, кварцевой вакуумной камеры, высокочастотного источника питания, Система подачи газа gx, насосная система и система измерения вакуума.

Основные функции:

1. газ в кварцевая вакуумная камера переводится в ионное состояние от ВЧ источника питания.

2. Пеквд ниже нормы для химического осаждения из паровой фазы.

3. стресс осажденные пленки могут контролироваться частотой ВЧ источника питания.

4. Pecvd имеет высокий скорость осаждения, хорошая однородность, консистенция и стабильность, чем у нормального cvd.

5. широко используется в росте различных пленок, таких как сиокс, синкс, сиоксный и аморфный кремний (a-si: h) и т. д.

TL1200 - технология pecvd-системы к нагревательному элементу проволоки сопротивления Kantal, используя двойную структуру оболочки и 30 программ контроля температуры, фазовращатель, тиристорный регулятор, печь с использованием поликристаллического материал волокна глинозема, может уплотнение фланца нержавеющей стали на обоих концах трубы печи, фланцевая установка из нержавеющей стали имеют горловину, клапан и манометр, вакуум, степень вакуума может достигать 10-3 Па, поле низких температур балансировка, температура поверхности, скорость подъема, энергосбережение, цена уступки и т. д.

1. кантал а1 провод сопротивления швеции

Kanthal a1 оригинальный провод китайского сопротивления проволочная печь против   импортная проволока сопротивления

(1), высокая температура поверхности может достигать 1420 ℃

(2) поверхность из нержавеющей стали (очень яркий, клиент следует обратить на это внимание), он не будет ржаветь, и время использования не упадет от шлака.

(3) данные кантал сопротивления провода загружаются

(4) веб-сайт провода сопротивления кантал: www.kanthal.com

(5) сопротивление уравновешено и поле температуры одинаково хорошо

Большинство производителей используют сплав Fe-CR-Al, легированный мо провод сопротивления, который

иногда сопротивление неравномерно и часть тепла мала                                           Kanthal Сопротивление a1 равномерно и тепло сбалансировано, хорошее температурное поле                                                                                                                                                                       эффект

2. установка воздуха выключатель и протектор утечки:

когда электрический ток или утечка, пустая встреча автоматически отключается.

3. можно подключить к компьютеру

эта печь оснащена коммуникационным интерфейсом и программное обеспечение, может быть непосредственно через компьютерный контроль печи каждого параметр, и можно наблюдать с компьютера pv на плиту и sv значение температуры и работа прибора, фактическая температура компьютер рисования кривой печи в режиме реального времени, и может хранить данные о температуре каждый раз, можете позвонить в любое время

4. камера

(1 ) высококачественный высокочистый глинозем поликристаллический печь с волоконным отверждением с вакуумным всасыванием и формовкой фильтра.

(2). принять японские технологии для формирования.

(3). расстояние и шаг сопротивления провода в печи расположены в соответствии с лучшими тепловыми технологиями Японии, а температурное поле моделируется тепловым программным обеспечением

(4). используя 4 недели нагрев, температура более сбалансирована

5. необязательный ul сертифицированная электрическая плата (вся сертификация импортируется электроприборы)

6. триггер

мягкий старт ограничитель тока                           большинство производителей используют неограничивающие триггеры xiamen bode

1 фазовый сдвиг (с плавным пуском и ограничением тока функция)

2. функция ограничения тока независимо от того, как отрегулировать отопление Время мы электропечи после вторичного тока трансформатора ограничено 170a или менее ограниченная защита оборудования. неограничивающий триггер, если скорость нагрева установлена ​​неправильно или слишком быстро. слаботочный ток очень Большое устройство отключится или сгорит.

3 функции плавного пуска ток будет медленно увеличивать Ток воздействия нагревательного элемента мал, способствует продление срока службы нагревательного элемента

4 функция защиты, если ток превышает предел текущий триггер автоматически отключит функцию триггера, чтобы отключить текущая защита печи.

7. ул сертифицированный трансформатор

1 кабель трансформатора чистый медь

2 трансформатор звук маленький

3 температура трансформатора низкий

8. Различные варианты выбора различных фланцев (диаметр от 25 до 250мм)

модель

Тмакс-1200-1200-1200 - я

Тмакс-1200-1200-1200 -II

Тмакс-1200-1200-1200 -III

Тмакс-1200-1200-1200 -iv

размер трубки

Диаметр 120 (od) x1800 мм

Диаметр 60 (od) x 1800 мм

Диаметр 80 (od) x1800 мм

Диаметр 100 (od) x1800 мм

Габаритные размеры (Дхдхч)

1800 x480x680

1800 x410x610

1800 x410x610

1800 x460x660

напряжение питания

220 В

материал направляющих

Нержавеющая сталь 304

скользящий режим

подшипник качения из нержавеющей стали

номер фазы

один этап

нагревательный элемент

импорт шведская канталь a1 сопротивление   провод нажмите на загрузку данных

режим управления

с помощью электрического управления программой   термометр (стандартный)
1. 30 программ управления температурой интеллектуальная регулировка пид.
2. отопительный контур электропечи может быть автоматически отключен   когда он был защищен от тепла или сломан случайно. (когда печь   температура превышает 1200 градусов или термопара сломана, реле переменного тока   на главной цепи будет автоматически отключаться, главная цепь   сломан, свет на панели выключен, свет выключен, ограниченный защитный   электропечь
3. с интерфейсом связи 485 (стандарт и стандарт для выбора   програмное обеспечение)
4. имеет функцию защиты от сбоя питания, то есть когда питание   программа не будет запускаться с начальной температуры, но   Печь начнет подниматься при отключении питания.

прибор имеет функцию самонастройки температуры

(заменить импортируемый инструмент,   нам нужно заплатить еще один взнос.)

fp93   таблица контроля температуры (шимаден)

Европейская   инструменты сенсорный экран   инструмент

режим контроля температуры

ПИД-регулятор

безупречная защита и отображение

да

защита от перегрева

да

защита от сверхтока

да

точность управления

+ / - 1 ℃

триггер

фазовый сдвиг

электроприборы

чжэцзян чинт

управляемый кремнием выпрямитель

106 / 16е западные ворота, Германия

самая высокая температура

температурная зона1: 1200 ℃ температура   зона 2: 1200 ℃

номинальная температура

температурная зона1: 1100 ℃ температура   зона 2: 1100 ℃

степень нагрева

20 ℃ / мин или меньше   (можно изменить в соответствии с требованием)

рекомендуемая скорость нагрева

10 ℃ / мин или меньше

модель термопары

зоны 1: температурный диапазон типа k   Тип 2: k

длина нагрева

зоны 1: температурный диапазон 200 мм.   2: 200 мм

электрическая сертификация

в.п.

температура окружающей поверхности

45 ℃ или менее

рф источник питания

(плазма   генератор)

диапазон выходной мощности

0-500 Вт

максимальная отраженная мощность

200 Вт.

рабочая частота

ВЧ: 13,56 МГц плюс или минус 0,005%

стабильность мощности

+ / - 0,1%

гармоническая составляющая

- 50 или меньше дбк

ВЧ ширина

0-600 - мм регулируется

режим соответствия

автоматический

режим охлаждения

воздух холодный

шум

& lt; 50 дБ

радиочастотный интерфейс

50 Ω n - тип

входная мощность

208-240 - 50/60 Гц

Основные параметры подачи газа   система

массовый расходомер
стандартный ассортимент
с использованием контроллера протонного потока 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 слм
(вы можете выбрать диапазон диапазона и тип газа)
максимальное рабочее давление 3 мп
Точность плюс или минус 1,5%
падение давления & lt; 0,01 мПа & lt; p = "" & gt;
точность повторения плюс или минус 0,2% ф.с.

channles:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (опционально)

тип соединения

двойная кассета из нержавеющей стали   соединитель

диапазон рабочего давления системы

0,1 ~ 0,5 мпа

рабочая температура

5-45 ℃

вакуумные часы

0,1 ~ 0,15 МПа до 0,01 МПа / кейс

статическая смесительная камера

диаметр 50 х 400 мм

интерфейс

Dia6 1/4 "

блок питания

220 В

размер

600 х 600 х 600

гофрированная труба

kf25x1000mm

степень вакуума может быть достигнута с   эта система

10-1 год

вакуумный дефлектор

kf25

vrd до 8 вакуумный насос

модель

от 8 до 8

предельное парциальное давление

5 х 10-2 в год

впускной выхлопной интерфейс

kf25

скорость двигателя

1440 об / мин

скорость добычи

2,2 л / с

мощность двигателя

0,4 кВт

Perfeer ACP1 безмасляный многоступенчатый   насос корней (план 2)

модель

acp15

источник питания

AC100 ~ 240 В 50/60 Гц

мощность

450 Вт

интерфейс выхлопа

kf25

вес

25 кг

максимальная скорость утечки гелия

5 · 10-8 в год м3 / с

степень экстремального вакуума

0,02 торр

скорость извлечения

14 м3 / ч

модель

здр - 1

мощность

25 Вт

диапазон измерения степени вакуума

0,1-10 5 в год

сопротивление кремния

на что пришлось 52 т

емкость пирани Швеции (инфикон)   вакуумметр (опционально)

модель

pcg554

входное напряжение

24 В 1а постоянного тока (оснащен 220 В   трансформатор)

интерфейс вакуумметра

kf16

цифровой дисплей

цифровой дисплей (размер экрана 20х14 мм),   чьим блоком отображения данных является torr

размер товара

46 мм х 28 мм х 126 мм (д х ш х ч)

вес

5 фунтов

обнаружение газа

различные газы могут быть обнаружены   включая смешанные газы, точные и повторяемые.

антикоррозийная ли

защита от коррозии

время отклика

30 мс или меньше

диапазон измерения

3,8 х10-5-1125 торр.

блок молекулярного насоса (опционально)

единичное входное напряжение

380 В / 220 В

гофрированная труба

kf40x1000

вакуумный дефлектор

kf40

размер корпуса

600 х 600 х 600

молекулярный насос

модель молекулярного насоса

fj620

входное напряжение

380 В

впускной фланец молекулярного насоса

DN160

скорость накачки молекулярного насоса л / с (для   воздуха)

600

предельное давление молекулярного насоса (Па)

6 х 10-7

система охлаждения

с водяным охлаждением

давление охлаждающей воды (МПа)

От 0,1 до 0,2

температура охлаждающей воды

& Лт; 25 ℃ & Лт; р =   "" & gt;

температура окружающей среды

0 ~ 40 ℃

предлагаемое начальное давление

& Лт; 100 в год & lt; p = "" & gt;

двигатель вакуумный насос рвп - 6

мощность

0,75 кВт

вольтаж

380 В

скорость

1450 об / мин

входной диаметр

KF25 / KF40

производительность насоса (л / с)

6

предельное давление

4 х 10-2 в год

немецкий вакуумный насос pfeiffer

вольтаж

220 В

мощность

110 Вт

интерфейс извлечения

kf40

вес

150 кг

скорость насоса переднего насоса

0,9 м 3 / ч

скорость извлечения (n2)

33 м / с

составной вакуумметр

составной вакуумметр

ZDF

блок питания

220 В 55 Вт

точность управления

плюс или минус 1%

диапазон измерения вакуумметра

10-5-10 5 в год

PECVD Furnace


1. мы поставляем машины с поддержкой технологии батареи.

2. мы поставляем полный набор литиевое аккумуляторное оборудование для лабораторных исследований, экспериментальных исследований и производства лин е.


laboratory muffle furnace


1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за ущерб во время процесса доставки, заменит часть повреждения для вас бесплатно.




Похожие теги :

трубчатая печь 3-х температурная печь Печи печи
Свяжитесь с нами Блог Главная Продукция Новости Карта сайта XML О TMAX Вопросы и ответы
Авторское право © Xiamen Tmax Battery Equipments Limited.