Входная мощность

• Одна фаза 220 В переменного тока, 50/60 Гц
• 700 Вт (включая вакуумный насос)
• Для использования 110 В переменного тока мы предоставим вам трансформатор. Пожалуйста, выберите напряжение в параметрах продукта

Выходная мощность

• 1600 В постоянного тока
• 40 мА макс.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: внутренний диаметр 150 мм x внешний диаметр 165 мм x высота 150 мм, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты.
• Уплотнительный фланец из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом

Образцовый столик с нагревателем

• Размер сцены: диаметр 50 мм.
• Диапазон расстояний распыления: 25 – 40 мм регулируемый
• Вращающийся столик с тремя положениями распыления (управляется с сенсорного экрана)
• Утеплитель подложки встроенный с максимальной температурой нагрева 500 °C
• ПИД-регулятор температуры с точностью +/- 1 °C встроен в сенсорный экран.

Панель управления

• 6-дюймовый цветной сенсорный экран с интеграцией ПЛК для удобства эксплуатации
• Вакуумметр, измеритель тока распыления и контроль температуры подложки встроены в сенсорную панель.
• Ручки регулировки на передней панели для регулировки подачи газа и тока напыления
• Положение распыления, таймер распыления и протоколирование процесса доступны с сенсорного экрана.

Щит

• Нержавеющая сталь защитная клетка включен для дополнительной защиты

Мишени для распыления

• Требования к размеру мишени: диаметр 47 мм. х 2,5 мм макс.
• В стандартный комплект для немедленного использования входят три мишени:
• Цель Au , диаметр 47 мм. х 0,12 мм
• Цель Ag , диаметр 47 мм. х 0,5 мм
• Cu мишень , диаметр 47 мм. х 2,5 мм
• Различные цели доступны для заказа в MTI

Вакуумный насос
(По желанию)

• Встроенный вакуумный порт KF25 для подключения к вакуумному насосу.
• Вакуумный насос с разъемом KF25 требуется, но не входит в комплект. Пользователь может выбрать
• А двухступенчатый механический вакуумный насос для вакуума до 1,0E-2 Торр.
• Или турбонасос для вакуума до 1,0E-5 Торр
• Вакуумный насос можно подключить к розетке слева от устройства для нанесения покрытий для автоматического управления.
• 

Габаритные размеры

• 440 мм Д × 330 мм Ш × 455 мм В

Вес нетто

• 50 кг

Согласие

• одобрение СЕ
• Сертификация MET (UL 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату. Пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения предложения.

Гарантия

• Ограничение на один год с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
• Ультразвуковая очистка с последующими последовательными ваннами - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основание с помощью N2, затем запеките в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
• Плазменная очистка может потребоваться для придания поверхности шероховатости, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
• Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• Двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Используйте > Газ Ar чистотой 5N для плазменного напыления
• Установка для нанесения покрытий может быть помещена в перчаточный бокс с газом Ar и N2 для нанесения покрытия.
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распылительные головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключать оборудование перед загрузкой образца и операциями смены мишени.
• Эта модель не подходит для покрытия легких металлических материалов, таких как Al, Mg, Zn, Ni и т. д., из-за низкой энергии. Пожалуйста, рассмотрите нашу установку для нанесения покрытий магнетронным напылением или термическим испарением. Нажмите на картинку ниже, чтобы узнать подробности