Функции

• 5 пистолетов для магнетронного распыления для 5 различных материалов мишени
• В зависимости от используемых источников питания (ВЧ или постоянного тока) могут наноситься как металлические, так и неметаллические материалы.
• Возможность распыления 5 целевых материалов для получения различных композиций с разным временем/скоростью распыления
• С дополнительными 5 источниками питания можно одновременно распылять 5 целевых материалов для комбинаторного напыления.
• 16 образцов могут быть помещены в одну партию с маской и вращающимся держателем образцов.

Входная мощность

• Одна фаза 220 В переменного тока, 50/60 Гц
• 1000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)

Источник питания

• Один ВЧ-генератор с автоматическим согласованием 13,5 МГц, 300 Вт включен и подключен к распылительным головкам.
• Поворотный переключатель может одновременно активировать одну распыляющую головку. Распылительные головки можно переключать «в плазме» без нарушения вакуума при многослойном процессе.
• Несколько источников питания RF являются дополнительными, что позволяет пользователю распылять несколько целей одновременно для комбинаторного распыления.
• Ноутбук с управляющим программным обеспечением доступен за дополнительную плату для контроля времени распыления и мощности каждого ВЧ-распылителя.

По желанию

• Вы можете выбрать источник питания постоянного тока для напыления металлических мишеней.
• С пятью источниками питания постоянного или высокочастотного тока можно одновременно напылять 5 целевых материалов для комбинаторного напыления.

Магнетронная распыляющая головка

• В комплект входят пять 1-дюймовых магнетронных распылительных головок с рубашками водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстрозажимных зажимов.
• Замену радиочастотного кабеля можно приобрести в TMAX.
• На фланце установлена ​​одна заслонка с ручным управлением (см. рис. 3).
• Для охлаждения распылительных головок включен один рециркуляционный водяной охладитель с цифровым управлением производительностью 10 л/мин.
• 

Распыление мишени

• Требования к размеру мишени: макс. диаметр 1 дюйм x толщина 1/8 дюйма
• Диапазон расстояний распыления: 50 – 80 мм регулируемый
• Диапазон угла распыления: 0 – 25° регулируемый
• Медная мишень диаметром 1 дюйм и алюминий 2 О 3 цель включена для демо-тестирования
• Различные мишени для распыления оксида диаметром 1 дюйм доступны по запросу и за дополнительную плату.
• Для приклеивания мишеней в комплект входят медные опорные пластины толщиной 1 мм и 2 мм. Серебряный эпоксидный клей (рис. 1) и дополнительные медные опорные пластины (рис. 2) можно заказать в TMAX.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера изготовлена ​​из нержавеющей стали 304 с ребрами жесткости.
• Размер внутренней вакуумной камеры: 470 мм Д × 445 мм Г × 522 мм В (~ 105 литров, 18,5 x 17,5 x 20,5 дюймов)
• Круглый 380 мм диам. распашная дверь со стеклянным окном диаметром 150 мм
• Диапазон температур: от -15 до 150 °C
• Уровень вакуума: 4,0E-5 торр с турбонасосом

Держатель образца

• Вращающийся держатель образцов диаметром 150 мм для покрытия 16 образцов одной партии с различными составами
• Держателем образца и вращением маски можно управлять вручную с помощью кнопки или автоматически с помощью управляющего программного обеспечения (дополнительно).
• Температура держателя образца регулируется от комнатной до 600 °C макс.

Вакуумный насос

• Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
• В комплект входит компактный турбонасос.
• 4.0E-5 Torr с дополнительным турбонасосом

По желанию

• Прецизионный кварцевый датчик толщины не является обязательным. Может быть встроен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,1 Å (требуется водяное охлаждение)
• Простое USB-подключение к ПК для дистанционного контроля толщины и скорости покрытия
• 5 кварцевых датчиков (расходные) включены

Вес нетто

• 60 кг

Согласие

• одобрение СЕ
• Сертификация MET (UL 1450) предоставляется по запросу и за дополнительную плату. Пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения предложения.

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Эта компактная 1-дюймовая ВЧ-магнетронная установка для нанесения покрытий предназначена для нанесения тонких оксидных пленок на оксидные монокристаллические подложки, которые обычно не требуют установки в условиях высокого вакуума.
• Двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Используйте > Газ Ar чистотой 5N для плазменного напыления
• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
• Ультразвуковая очистка с последующими последовательными ваннами - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основание с помощью N2, затем запеките в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
• Плазменная очистка может потребоваться для придания поверхности шероховатости, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
• Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• Для лучшей производительности непроводящие мишени должны быть установлены с медной опорной пластиной. Пожалуйста, обратитесь к видео-инструкции ниже (#3) для целевого связывания
• TMAX поставляет монокристаллическую подложку от А до Я
• Аппараты для плазменного напыления TMAX RF успешно нанесли покрытие ZnO на алюминий 2 О 3 подложка при 500 °C
• Проверьте гибкость тонкопленочного/покрытого электрода с помощью EQ-MBT-12-LD Прибор для испытаний на изгиб оправки .
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распылительные головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен отключить ВЧ-генератор перед загрузкой образца и операцией смены мишени.
• НЕ ИСПОЛЬЗУЙТЕ водопроводную воду в чиллере. Используйте охлаждающую жидкость, деионизированную воду, дистиллированную воду или антикоррозионные присадки с водой.
•