Вакуум п ум с эт

( О иль обязательно) р отарий в вакуум п ум

Ротари п трахаться с мочился

50 Гц: 8 м³ / ч ( 2 . 2 л/с)/ 60 Гц : 9. 6 м³ /ч ( 2 . 6 л/с)

Вакуум л подражать

2 Па

Максимальный ток распыления

100 мА

Работающий п давление

20Па - 8 Па

Пылесосить т я мне

<5 Мин( 2 Па)

Вакуум м легкость

Диапазон измерения от атмосферы до 2*10 ^-2 мбар

Камера с размер

Φ 15 0* 12 0 мм (высота) кварцевое стекло, устойчивое к царапинам

Магнетрон т цель с источник

Цель размер φ50*0,1 мм (золото) / т целевой источник: золото, серебро, платина

Операция м метод

Руководство по эксплуатации л

Масса/ с размер

45 кг/ 36 0 мм длина х 30 0 мм шириной Икс 38 0 мм высотой

Мощность с повышать

110 В переменного тока 60 Гц или 220 В переменного тока 50 Гц

Мощность с принятие

&lt; 15 00 Вт

Метод охлаждения

Водяное охлаждение (опционально)

Гарантия

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой продукта