Двухзонная лабораторная печь CSS для быстрой термической обработки пластин диаметром до 5 дюймов при макс. 800°C - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5 представляет собой печь для быстрой термической обработки с кварцевой камерой с внутренним диаметром 11 дюймов. Она предназначена для термического испарения или CSS ( Сублимация с близким интервалом ) пленочное покрытие до 5 дюймов в диаметре. Круглые образцы и макс. 800 ° C. Печь нагревается двумя группами галогенных нагревателей (верхний и нижний) отдельно с макс. 10ºC/с степень нагрева. Встроены два 30-сегментных прецизионных регулятора температуры с точностью +/-1ºC. Порт RS485 и управляющее программное обеспечение входят в комплект поставки, что позволяет управлять печью и регистрировать профиль температуры через ПК. Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как солнечные элементы CdTe, сульфиды и перовскиты.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Структура печи & Вакуумная камера	· Два регулятора температуры. · Камера изготовлена ​​из плавленого кварца высокой чистоты. · Размер кварцевой трубки: внешний диаметр 11 дюймов / внутренний диаметр 10,8 дюйма x высота 9 дюймов. · Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316.
Вакуумные фланцы	· Верхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и одним выпускным отверстием для газа (требуется труба 1/4 дюйма) может перемещаться вверх или вниз вручную для легкой загрузки и выгрузки субстрата и испаряемого материала. · Нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с одним входом газа (требуется труба 1/4") с игольчатыми клапанами. · Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. давление вакуума 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос не входит в комплект, заказывайте отдельно). · На верхнем фланце установлен один цифровой вакуумметр. · Прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр в стандартной упаковке (с 24.03.2016) .
Контроль расхода газа	Смеситель газа интегрирован с двумя поплавковыми счетчиками с регулируемыми диапазонами измерения 16 - 160 мл/м
Нагреватель и держатель образца	· Два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм. · 20 шт Галогенные лампы используются в качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки. · Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной охлаждающей рубашкой для уменьшения теплового излучения и обеспечения быстрого охлаждения. · Круглый держатель пластин диаметром 5 дюймов встроен в верхний нагреватель для удержания подложки. · В комплект входит один набор пластин AlN с высокой теплопроводностью или графитовых пластин (диаметр 5 дюймов, толщина 0,5 мм) (поместите на дно для испарения материала) · Охладитель с циркуляцией воды 58 л / мин включен для экономии источника воды (нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть подробные характеристики).
Регулятор температуры	· Два прецизионных цифровых регулятора температуры с 30 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями. · Каждый контроллер имеет функцию автонастройки ПИД-регулятора для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию аварийной сигнализации для предотвращения перегрева и разрыва термопары. · Интерфейс связи с ПК и усилитель; установлено программное обеспечение для записи температурного профиля, как показано ниже. ·
Рабочая температура	· Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 800ºC. · Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями: о Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315ºC при нагреве только снизу
Отопление & Скорость охлаждения	· Отопление: < 8ºC/с (нагрев только одного нагревателя) · Охлаждение: < 10ºC/с (600–100ºC) Макс.
Термальная пара	Две термопары типа К устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели.
Рабочее напряжение	220 В переменного тока, однофазный, требуется воздушный выключатель на 60 А
Требования к мощности	всего 9,5 кВт
Габаритные размеры	1085 мм Д x 680 мм Ш x 1710 мм В
Вес в упаковке и усилитель; Измерение	· Два поддона: 525 фунтов и 48 x 40 x 87 дюймов и 165 фунтов размером 39 x 31 x 29 дюймов.
По желанию	· Требуется один вакуумный насос. Пожалуйста, заказывайте отдельно, нажав на первое изображение слева внизу. Уровень вакуума может достигать < = 10E-2 торр механическим насосом. · Если вы работаете с агрессивным газом, рассмотрите возможность использования антикоррозионного сухого насоса, показанного на втором рисунке слева ниже (насос Pfeiffer из Германии) за дополнительную плату. · Вы можете выбрать цифровую систему подачи газа MFC, нажав на первое изображение справа внизу.
Гарантия	Один год с пожизненной поддержкой (расходные детали, такие как кварцевая трубка и нагревательные лампы, не покрываются гарантией).
Ноутбук, программное обеспечение и усилитель; Управление Wi-Fi (опционально)	· Совершенно новый ноутбук с Microsoft Window 10 и Microsoft Office 2013 (30-дневная бесплатная пробная версия) для немедленного использования. · Система контроля температуры на базе Labview ( EQ-MTS01 ) позволяет пользователю редактировать температурный профиль, управлять рецептами термообработки, записывать и отображать данные для печей MTI. · Беспроводной пульт дистанционного управления обеспечивает радиус действия до 300 метров. · Вышеуказанные функции доступны по запросу и за дополнительную плату (до 1000 долларов США). Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации. · Примечание: Программное обеспечение совместимо только с Тмакс Регулятор температуры Yudian
Примечания по применению & Предупреждения	· Трубчатые печи с кварцевой трубкой предназначены для работы в условиях вакуума и низкого давления < 0,2 бара / 3 фунта на кв. дюйм / 0,02 МПа. Вакуумное давление можно безопасно использовать только до 1000°C. Скорость потока газов должна быть ограничена до < 200 SCCM (или 200 мл/мин) для снижения термических ударов по трубке. · Внимание : На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления, чтобы ограничить давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы. · Подножка этой печи предназначена для перевозки на короткие расстояния по ровной поверхности.