Двухзонная печь CSS с вращающимся держателем для пластин до 5x5 дюймов при макс. 800°C - OTF-1200X-RTP-II-5-R

OTF-1200X-RTP-II-5-R — это усовершенствованная печь для быстрой термической обработки с кварцевой камерой с внутренним диаметром 11 дюймов и вращающимся держателем образца размером 5 x 5 дюймов. Она предназначена для покрытия пленкой CSS образцов круглой или квадратной формы размером до 5 дюймов при рабочей температуре макс. 800°C. Печь нагревается двумя группами галогенных нагревателей (верхний и нижний) по отдельности с макс. 10 º С/с степень нагрева. Верхний держатель образца может вращаться для достижения высокой однородности покрытия. Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как CdTe, сульфид и фосфор. еровскитовый солнечный элемент.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Структура печи	Топка, два терморегулятора, двухканальные газовые расходомеры встроены в мобильную раму из алюминиевого сплава. Камера изготовлена ​​из плавленого кварца высокой чистоты размером Внешний диаметр 11 дюймов / внутренний диаметр 10,8 дюйма x высота 9 дюймов. Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316 и поднимаются с помощью электродвигателя. Две ИК-нагревательные пластины размером 5 x 5 дюймов и расстояние между ними регулируются. Верхний держатель образца вращается со скоростью 0-7 об/мин.
Вакуумные фланцы	Верхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и одним выпускным отверстием для газа (требуется труба 1/4 дюйма) может перемещаться вверх или вниз вручную для легкой загрузки и выгрузки субстрата и испаряемого материала. Нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с одним входом газа (требуется труба 1/4") с игольчатыми клапанами. Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. вакуумное давление 10Е-2 Торр качеством механическим насосом и 10E-5 Торр молекулярным насосом (вакуумный насос не входит в комплект, заказывайте отдельно). На верхнем фланце установлен один цифровой вакуумметр. Прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр в стандартной упаковке (с 24.03.2016) .
Нагреватель и держатель образца	Два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм. 20 шт Галогенные лампы используются в качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки. Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной охлаждающей рубашкой для уменьшения теплового излучения и способны к быстрому охлаждению. Круглый держатель пластин диаметром 5 дюймов встроен в верхний нагреватель для удержания подложки. В комплект входит один набор пластин AlN с высокой теплопроводностью (диаметр 5 дюймов и толщина 0,5 мм) (поместите на заднюю часть подложки для равномерного нагрева). Охладитель с циркуляцией воды 58 л / мин включен для экономии источника воды (нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть подробные характеристики). Верхний держатель образца вращается с регулируемой скоростью от 0 до 7 об/мин.
Регулятор температуры	Два прецизионных цифровых регулятора температуры с 30 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями. Каждый контроллер имеет функцию автонастройки ПИД-регулятора для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию аварийной сигнализации для предотвращения повреждения термопар из-за перегрева. Интерфейс связи с ПК и усилитель; Программное обеспечение установлено для (щелкните изображение ниже, чтобы узнать подробности) записи температурного профиля, показанного ниже.
Рабочая температура	Максимальная температура для каждого нагревателя: ≤ 800ºC. Максимальная разница температур между двумя нагревателями: ≤ 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями: Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315ºC при нагреве только снизу
Отопление & Скорость охлаждения	Отопление: < 8ºC/с (нагрев только одного нагревателя) Охлаждение: < 10ºC/с (600–100ºC) Макс.
Термальная пара	Две термопары типа К устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели.
Рабочее напряжение	208 - 240 В переменного тока, одна фаза, воздушный выключатель 50 А
Требования к мощности	всего 10 кВт
Габаритные размеры	(нажмите на картинку, чтобы увидеть размер)
Вес в упаковке и усилитель; Измерение	Два поддона: 525 фунтов и 48" x 40" x 87" и 165 фунтов с размерами 39x31x29"
По желанию	Требуется один вакуумный насос. Пожалуйста, заказывайте отдельно, нажав на первое изображение слева внизу. Уровень вакуума может достигать ≤ 10E-2 торр с помощью механического насоса. При использовании агрессивного газа используйте холодную ловушку или антикоррозионный сухой насос, показанный на рисунке 2-3, за дополнительную плату. Вы можете выбрать цифровую систему подачи газа MFC, нажав на первое изображение справа внизу.
Гарантия	Один год с пожизненной поддержкой (расходные детали, такие как кварцевая трубка и нагревательные лампы, не покрываются гарантией).
Примечания по применению & Предупреждения	Трубчатые печи с кварцевой трубкой предназначены для работы в условиях вакуума и низкого давления < 0,2 бара / 3 фунта на кв. дюйм / 0,02 МПа. Вакуумное давление можно безопасно использовать только до 1000°C. Скорость потока газов должна быть ограничена до < 200 SCCM (или 200 мл/мин) для снижения термических ударов по трубке. А внимание : На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления, чтобы ограничить давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы. Подножка этой печи предназначена для перевозки на небольшие расстояния только по ровной поверхности (без ям и ухабов).