Входная мощность

• Одна фаза 220 В переменного тока, 50/60 Гц
• 1000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)
• При напряжении 110 В в TMAX можно заказать трансформатор мощностью 1500 Вт.

Источник питания

• Генератор ВЧ мощностью 13,5 МГц, 100 Вт с ручным согласованием входит в комплект и подключается к распылительным головкам.
• Непрерывное рабочее время:
• 100 Вт: ≤ 1 час
• 80 Вт: ≤ 1,5 часа
• 70 Вт: ≤ 2 часа
• 60 Вт: ≤ 4 часа
• 50 Вт: ≤ 8 часов
• Диапазон нагрузки: 0 – 80 регулируется. Диапазон настройки: -200 Дж – 200 Дж регулируемый
• Поворотный переключатель может одновременно активировать одну распыляющую головку. Возможность переключения распылительных головок «в плазме» (без разрыва вакуума и плазмы при многослойном процессе)
• С источником питания постоянного тока установка для нанесения покрытий может быть легко преобразована в 1-дюймовые источники распыления постоянного тока для осаждения металлической пленки, что позволяет использовать конфигурации распылительных головок с тремя постоянными токами, одной RF / двумя постоянными и двумя головками RF / одним постоянным током. (Нижнее левое изображение. Пожалуйста, выберите из вариантов продукта)
• Дополнительный ВЧ-генератор мощностью 300 Вт с автоматическим согласованием доступен за дополнительную плату.

Магнетронная распыляющая головка

• В комплект входят три 1-дюймовые магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстрозажимных зажимов.
• Замену радиочастотного кабеля можно приобрести в TMAX.
• На фланце установлена ​​одна заслонка с ручным управлением (см. рис. 3).
• Для охлаждения распылительных головок включен один рециркуляционный водяной охладитель с цифровым управлением производительностью 10 л/мин.
• 

Распыление мишени

• Требования к размеру мишени: макс. диаметр 1 дюйм x толщина 1/8 дюйма
• Диапазон расстояний распыления: 50 – 80 мм регулируемый
• Диапазон угла распыления: 0 – 25° регулируемый
• Медная мишень диаметром 1 дюйм и алюминий 2 О 3 цель включена для демо-тестирования
• Различные мишени для распыления оксида диаметром 1 дюйм доступны по запросу и за дополнительную плату.
• Для целевого соединения в комплект входят медные опорные пластины толщиной 1 мм и 2 мм. Серебряный эпоксидный клей (рис. 1) и дополнительные медные опорные пластины (рис. 2) можно заказать в TMAX.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: внешний диаметр 256 мм x внутренний диаметр 238 мм x высота 276 мм, изготовлена ​​из кварца высокой чистоты.
• Уплотнительный фланец: диаметр 274 мм. изготовлен из алюминия с уплотнительным кольцом из термостойкого силикона
• Защитная клетка из нержавеющей стали включена для 100% экранирования радиочастотного излучения камеры.
• Максимальный уровень вакуума: 1,0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом и камерой выпечки

Держатель образца

• Держатель образца представляет собой вращающийся и нагреваемый предметный столик из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали.
• Размер держателя образца: диаметр 50 мм. за. Макс. пластина 2 дюйма (см. рисунок ниже)
• Скорость вращения: 1 - 10 об/мин, регулируемая для равномерного покрытия
• Температура держателя регулируется от комнатной температуры до 600 °C (максимум 5 минут при 600 °C; 2 часа максимум при 500 °C) с точностью +/- 1,0 °C с помощью цифрового регулятора температуры.

Вакуумный насос

• Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
• Уровень вакуума: 1,0E-2 Торр с включенным двухступенчатым механическим насосом
• 1,0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом

По желанию

• Прецизионный кварцевый датчик толщины не является обязательным. Может быть встроен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,1 Å (требуется водяное охлаждение)
• Простое USB-подключение к ПК для дистанционного контроля толщины и скорости покрытия
• 5 кварцевых датчиков (расходные) включены
• Удаленное управление контроллером температуры с ПК не является обязательным.
• Простое USB-подключение к ПК для удаленного контроля температуры
• Программное обеспечение для контроля температуры включено. Модуль совместим с LabView
• Для магнетронного напыления постоянным током рекомендуется турбонасос (фото №3)
• Реактивное напыление с N 2 или О 2 доступен с дополнительной станцией управления смешиванием газов.
• 

Размер

• 540 мм Д x 540 мм Ш x 1000 мм В

Вес нетто

• 60 кг

Согласие

• одобрение СЕ
• Сертификация MET (UL 1450) предоставляется по запросу и за дополнительную плату. Пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения предложения.

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Эта компактная 1-дюймовая ВЧ-магнетронная установка для нанесения покрытий предназначена для нанесения тонких оксидных пленок на оксидные монокристаллические подложки, которые обычно не требуют установки в условиях высокого вакуума.
• Двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Используйте > Газ Ar чистотой 5N для плазменного напыления
• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
• Ультразвуковая очистка с последующими последовательными ваннами - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основание с помощью N2, затем запеките в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
• Плазменная очистка может потребоваться для придания поверхности шероховатости, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
• Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• Для лучшей производительности непроводящие мишени должны быть установлены с медной опорной пластиной. Пожалуйста, обратитесь к видео-инструкции ниже (#3) для целевого связывания.
• TMAX поставляет монокристаллическую подложку от А до Я
• Аппараты для плазменного напыления TMAX RF успешно нанесли покрытие ZnO на алюминий 2 О 3 подложка при 500 °C (профиль XRD на рис. 5)
• Проверьте гибкость тонкопленочного/покрытого электрода с помощью EQ-MBT-12-LD Прибор для испытаний на изгиб оправки .
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распылительные головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен отключить ВЧ-генератор перед загрузкой образца и операцией смены мишени.
• НЕ ИСПОЛЬЗУЙТЕ водопроводную воду в чиллере. Используйте охлаждающую жидкость, деионизированную воду, дистиллированную воду или антикоррозионные присадки с водой.
•