• WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
Продукция
PECVD Tube Furnace

мини однотемпературная раздвижная печь

  • Model Number:

    TMAX-1200-SlidingPEC
  • :

    Xiamen
  • Оплата:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
  • WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • Wechat : 18659217588
Сведения о продукте

мини однотемпературная раздвижная зона


tmax1200-ы-ч-PECVD система Состоит из вакуумной трубчатой ​​печи TL1200, кварцевой вакуумной камеры, высокочастотного источника питания, Система подачи газа gx, насосная система и система измерения вакуума.

Основные функции:

1. газ в кварцевая вакуумная камера переводится в ионное состояние от ВЧ источника питания.

2. Пеквд ниже нормы для химического осаждения из паровой фазы.

3. стресс осажденные пленки могут контролироваться частотой ВЧ источника питания.

4. Пеквд имеет высокая скорость осаждения, хорошая однородность, консистенция и стабильность, чем обычно CVD.

5. широко используется в росте различных пленок, таких как сиокс, синкс, сиоксный и аморфный кремний (a-si: h) и т. д.

системный метод tmax1200-s-h-pecvd для нагревательного элемента шведского кантальского сопротивления, используя двойную структуру оболочки и 30 программ контроля температуры, фазовращатель, тиристорный регулятор, печь с использованием поликристаллического материал волокна глинозема, может уплотнение фланца нержавеющей стали на обоих концах трубы печи, фланцевая установка из нержавеющей стали имеют горловину, клапан и манометр, вакуум, степень вакуума может достигать 10-3 Па, поле низких температур балансировка, температура поверхности, скорость подъема, энергосбережение, цена уступки и т. д.

1. кантал а1 провод сопротивления швеции

Kanthal a1 оригинальный провод китайского сопротивления проволочная печь против   импортная проволока сопротивления

(1), высокая температура поверхности может достигать 1420

(2) поверхность из нержавеющей стали (очень яркий, клиент следует обратить на это внимание), он не будет ржаветь, и время использования не упадет от шлака.

(3) данные кантал сопротивления провода загружаются

(4) веб-сайт провода сопротивления кантал: www.kanthal.com

(5) сопротивление уравновешено и поле температуры одинаково хорошо

Большинство производителей используют сплав Fe-CR-Al, легированный мо провод сопротивления, который

иногда сопротивление неравномерно и часть тепла мала                                           Kanthal Сопротивление a1 равномерно и тепло сбалансировано, хорошее температурное поле                                                                                                                                                                       эффект

2. установка воздуха выключатель и протектор утечки:

когда электрический ток или утечка, пустая встреча автоматически отключается.

3. можно подключить к компьютеру

эта печь оснащена коммуникационным интерфейсом и программное обеспечение, может быть непосредственно через компьютерный контроль печи каждого параметр, и можно наблюдать с компьютера pv на плиту и sv значение температуры и работа прибора, фактическая температура компьютер рисования кривой печи в режиме реального времени, и может хранить данные о температуре каждый раз, можете позвонить в любое время

4. камера

(1 ) высококачественный высокочистый глинозем поликристаллический печь с волоконным отверждением с вакуумным всасыванием и формовкой фильтра.

(2). принять японские технологии для формирования.

(3). расстояние и шаг сопротивления провода в печи расположены в соответствии с лучшими тепловыми технологиями Японии, а температурное поле моделируется тепловым программным обеспечением

(4). используя 4 недели нагрев, температура более сбалансирована

5. необязательный ul сертифицированная электрическая плата (вся сертификация импортируется электроприборы)

6. триггер

мягкий старт ограничитель тока                           большинство производителей используют неограничивающие триггеры xiamen bode

1 фазовый сдвиг (с плавным пуском и ограничением тока функция)

2. функция ограничения тока независимо от того, как отрегулировать отопление Время мы электропечи после вторичного тока трансформатора ограничено 170a или менее ограниченная защита оборудования. неограничивающий триггер, если скорость нагрева установлена ​​неправильно или слишком быстро. слаботочный ток очень Большое устройство отключится или сгорит.

3 функции плавного пуска ток будет медленно увеличивать Ток воздействия нагревательного элемента мал, способствует продление срока службы нагревательного элемента

4 функция защиты, если ток превышает предел текущий триггер автоматически отключит функцию триггера, чтобы отключить текущая защита печи.

7. ул сертифицированный трансформатор

1 кабель трансформатора чистый медь

2 трансформатор звук маленький

3 температура трансформатора низкий

8. Различные варианты выбора различных фланцев (диаметр от 25 до 250мм)

модель

Tmax-1200-slidingpecvd1

Tmax-1200-slidingpecvd2

мощность

1.5kw

трубка   размер

dia25 (О.Д.) x1250mm

dia50 (О.Д.) x1250mm

в целом   Размеры (lxdxh)

1800x410x610

1800x460x660

  напряжение питания

220   v

горка   материал рельса

304   нержавеющая сталь

скольжение   Режим

нержавеющий   стальной подшипник качения

число   фазы

не замужем   фаза

обогрев   элемент

импорт   шведская канталь a1 сопротивление провода нажмите на данные загрузки

режим управления

с помощью электрического термометра управления программой (стандарт)
1. 30 программ управления температурой интеллектуальная регулировка пид.
2. отопительный контур электропечи может быть автоматически отключен   когда он был защищен от тепла или сломан случайно. (когда печь   температура превышает 1200 градусов или термопара сломана, реле переменного тока   на главной цепи будет автоматически отключаться, главная цепь   сломан, свет на панели выключен, свет выключен, ограниченный защитный   электропечь
3. с интерфейсом связи 485 (стандарт и стандарт для выбора   програмное обеспечение)
4. имеет функцию защиты от сбоя питания, то есть когда питание   программа не будет запускаться с начальной температуры, но   Печь начнет подниматься при отключении питания.
прибор имеет функцию самонастройки температуры


(чтобы заменить импортированный инструмент, нам нужно заплатить еще один сбор.)

таблица контроля температуры fp93 европейская   инструменты сенсорный экран

(Shimaden)

  режим контроля температуры

ПИД-регулятор

сломаны   даже защита и отображение

да

над   защита от перегрева

да

над   текущая защита

да

контроль   точность

+   / - 1

  триггер

фаза   сдвиг триггера

электрический   бытовая техника

Чжэцзян   CHINT

кремний   управляемый выпрямитель

106 / 16e   западные ворота, германия

  самая высокая температура

температура   зона1: 1200 температурная зона 2: 1200

  номинальная температура

температура   зона 1: 1100 температурная зона 2: 1100

обогрев   темп

  20 / мин или меньше (можно изменить   согласно требованию )

рекомендуемые   степень нагрева

10 / мин или лес s

модель   термопары

зон   1: диапазон температур типа k 2: тип k

обогрев   длина

зон   1: диапазон температур 200 мм. 2: 200 мм

электрический   сертификация

в.п.

окружающих   температура поверхности

45 или лес s

ВЧ   источник питания

(плазма   генератор)

мощность   диапазон выхода

0-500   вес

максимальная   отраженная сила

200   ш.

работает   частота

ВЧ:   13,56 МГц плюс или минус 0,005%

мощность   стабильность

+   / - 0,1%

гармоника   компонент

-   50 или меньше постоянного тока

ВЧ   ширина

0-600   - мм регулируется

согласование   Режим

автоматический

охлаждение   Режим

воздуха   холодный

шум

  & Лт; 50 дБ

  радиочастотный интерфейс

50   Ω n - тип

вход   мощность

208-240   - v 50/60 Гц

основной   параметры системы газоснабжения gx

масса   расходомер
стандартный ассортимент
с использованием контроллера протонного потока 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 слм
(вы можете выбрать диапазон диапазона и тип газа)
максимальное рабочее давление 3 мп
Точность плюс или минус 1,5%
падение давления & lt; 0,01 мПа & lt; p = "" & gt;
точность повторения плюс или минус 0,2% ф.с.

channles:

1,   2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (опционально)

совместный   тип

двойной   кассетный разъем из нержавеющей стали

система   диапазон рабочего давления

0,1   ~ 0,5 мПа

работает   температура

5-45

давление   вакуумные часы

0,1   ~ 0,15 МПа до 0,01 МПа / дело

статический   смесительная камера

dia50   х 400 мм

интерфейс

dia6   1/4"

  источник питания

220   v

размер

600   x600x600

гофрированный   труба

kf25x1000mm

  степень вакуума может быть достигнута с помощью этой системы

10-1   год

вакуум   дефлектор

kf25

VRD   до 8 вакуумный насос

модель

VRD   до 8

ограничения   частичное давление

5   х10-2 в год

входное отверстие   интерфейс выхлопа

kf25

двигатель   скорость

1440   оборотов в минуту

добыча   темп

2,2   л / с

двигатель   мощность

0,4   кВт

perfeer   Безмасляный многоступенчатый насос для корней acp1 (план 2)

модель

acp15

мощность   поставка

AC100   ~ 240 В 50/60 Гц

мощность

450   вес

выпускной   интерфейс

kf25

вес

25   кг

  максимальная скорость утечки гелия

5   · 10-8 в год м3 / с

экстремальный   степень вакуума

0.02   торр

  скорость извлечения

14   м3 / ч

модель

ZDR   - 1

мощность

25   ш.

вакуум   диапазон измерения степени

0.1-10   5 в год

сопротивление   кремний

что   зы пришлось 52 т

Швеция   (Inficon) Пиран емкостный вакуумметр (опционально)

модель

pcg554

вход   вольтаж

24v   1а постоянного тока (оснащен трансформатором 220 В)

вакуум   измерительный интерфейс

kf16

цифровой   дисплей

цифровой   дисплей (размер экрана 20x14 мм), чей блок отображения данных - торр

продукт   размер

46мм   х 28 мм х 126 мм (д х ш х ч)

  вес

5   фунтов

обнаружение   газа

различный   газы могут быть обнаружены, включая смешанные газы, точные и повторяемые.

будь то   антикоррозийный

коррозия   защита

  время отклика

30   мс или меньше

измерения   ассортимент

3,8   х10-5-1125 торр.

молекулярная   насосный агрегат (опционально)

единица измерения   входное напряжение

380   В / 220 В

гофрированный   труба

kf40x1000

вакуум   дефлектор

kf40

кейс   размер

600   x600x600

молекулярная   насос

молекулярная   модель насоса

fj620

вход   вольтаж

380   v

молекулярная   входной фланец насоса

DN160

молекулярная   скорость откачки насоса л / с (для воздуха)

600

молекулярная   предельное давление насоса (Па)

6   х 10-7

охлаждение   система

воды   охлажденный

охлаждение   давление воды (мпа)

0,1   до 0,2

охлаждение   температура воды

& Лт;   25 & Лт; p = "" & gt;

  температура окружающей среды

0   ~ 40

предложенный   начальное давление

& Лт;   100 в год & lt; p = "" & gt;

двигатель   вакуумный насос рвп - 6

мощность

0,75   кВт

вольтаж

380   v

скорость

1450   оборотов в минуту

входное отверстие   диаметр

kf25   / kf40

насос   скорость накачки (л / с)

6

окончательный   давление

4   х10-2 в год

Немецкий   вакуумный насос pfeiffer

вольтаж

220   v

мощность

110   ш.

добыча   интерфейс

kf40

  вес

150   кг

насос   скорость переднего насоса

0.9   м 3 / ч

добыча   скорость (n2)

33   Миз

соединение   вакуумметр

соединение   модель вакуумметра

ZDF

  источник питания

220   V 55 Вт

контроль   точность

плюс   или минус 1%

вакуум   измерительный диапазон

10-5-10   5 в год

PECVD Furnace


1. мы поставляем машины с поддержкой технологии батареи.

2. мы поставляем полный набор литиевое аккумуляторное оборудование для лабораторных исследований, экспериментальных исследований и производства лин е.


laboratory muffle furnace


1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за ущерб во время процесса доставки, заменит часть повреждения для вас бесплатно.