вращающиеся PECVD трубчатая печь (60 мм OD) с одной Отопление зоны на 1200 ° C Макс.

TMAX-DSP-1200PECVD-XZ s имеет три зоны 1200оС PE-ХПО трубу печи система состоит из 500W RF источник плазмы, трубчатая печь с комплексной канал точности массовый расходомер с газом, смешивания танк, и высокого качества безмасляный вакуумный насос. такое PE-ХПО печь представляет собой новый инструмент для расти нанопроволоки или графена или SiC покрытие.

технические характеристики:

питания	3,5 кВт
труба размер	Dia 60(OD) X1200mm
продукт размеры (мм)	1300 x 420 x 1200
труба вращения скорость	0 - 25 RPM переменной
печи наклон угол	-10-30 °
есть	1. два программируемых точности темп. контроллеры с 30 сегментов. 2. два отдельно контролируемая система отопления Зоны: 200 мм длина для каждого Отопление зоны 400 мм всего в Отопление Длина 250 мм константа Центральной Температура отопления области, если обе зоны были нагреты в то же Температура
печи структуры	1. Сплит трубчатая печь с раздвижными железнодорожных 2. Макс 1150ºC для непрерывного нагрева 3. мульти программируемый цифровой точностью контроллеры температуры с 30 сегментов. 4. входная мощность: 208 – 240V AC вход, сингл фазы в Макс. 4кВт
плазмы мощности питания	1. Выходная мощность: 5 - 500 Вт регулируемый с ± 1% стабильность. 2. РФ Частота: 13,56 МГц 0,005% стабильность. 3. отражение мощность: 10W Макс. 4. соответствия: Автоматическая 5. Выходная Порт: 50 Ω, N-типа, женские 6. шума: < 30 дБ. 7. системы охлаждения: Воздушное охлаждение. 8. мощность: 208-240 в, однофазное, 50/60 Гц
антикоррозионной давление Датчик	1. 3.8x10 -5 до 1125 торр измерения Диапазон 2. антикоррозионные, тип газа независимых 3. высокая точность и воспроизводимость в атмосфера для надежной атмосферное давление обнаружения 4. быстро атмосферный обнаружения устраняет время ожидания и сокращает процесс цикл 5. легко обмениваться plug & play датчик элемент
вакуумный насос станции и Клапаны	1. Высокая скорость Пфайфер (120 Л/мин) масло менее Сухой вакуумный насос, 10E-3 Торр предел устанавливается внутри тяжелых Мобильная тележка 2. KF25 адаптер и трубы из нержавеющей стали подключение между насос и трубы фланец с шаровой клапан для заказчика вилка и играть 3. 10E-2 Торр вакуум может быть достигнуто внутри обработки трубы
массы расходомеры & Газовые станции смешения	он установлен в тяжелых мобильных корзину, где трубчатая печь могут быть размещены на верхней части. сенсорный ЖК-экран интегрированы для обеспечения простого управления на потока газа скорость каждого независимого канала. 1. Рабочая температура: 5 ~ 45 ° c 2. Макс. Давление: 3 x 10 6 ПА 3. точность: ± 1,5% FS 4. лайнера: ±(0.5-1.5) % ф.с. 5. дубликат точность: ±0.2%F.S. 6. управление Диапазон: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM или 1,2,3,5, 10SLM.
отопления и охлаждения Цены	порт RS485 и программное обеспечение установлено и дайте температуре пульт дистанционного управления профиль на PC. для достижения Max.Heating курс, пользователю необходимо разогреть печи для желаемого температуры, а затем слайд печи в зоне образец трубки для достижения Макс. скорость охлаждения, переместите печь с подогревом от горячей зоны к холоду зона Отопление курс: 15° C/sec (RT - 150 ° C); 10° C/сек (150° C ДО 250° C); 7° C/сек (250° C -350 ° C); 4° C/sec (350° C -500 ° C); 3° C/сек (350° C -550 ° C); 2° C/сек (550° C -650 ° C); 1° C/sec (650° C -800 ° C); 0.5° C/сек (800° C - 1000° C); охлаждения скорость: 15° C/сек (1000-950° C); 10° C/сек (950° C - 900° C); 7° C/сек (900° C - 850° C); 4° C/сек (850° C - 750° C); 2° C/сек (750° C - 600° C); 1,5 ° C/сек (600° C ДО 500° C); 1° C/сек (500° C - 400° C); 0.5° C/сек (400° C - 300° C);
гарантия	один год ограниченной гарантии с жизни поддержка.
по применению	трубчатые печи с кварцевые трубки являются предназначен для использования под вакуумом и низкого давления < 0,12 МПа (абсолютное давление). внимание: A Регулятор давления-двухступенчатый должна быть установлена на газовый баллон для ограничения давления ниже 3 PSI для безопасной эксплуатации. скорость потока для газов, должна быть ограничена < 200 SCCM (или 200 мл/мин) для уменьшения термических ударов на трубу. вакуума предел определение для всех кварца метро печей: * давление вакуум может быть только безопасно использовать до 1000° C. для работы PECVD системы с трубки размером более 4», пожалуйста, всегда держать более чем 1 метр расстояния от плазменного источника после запуска генератора плазмы работа.

подробные изображения

наши сертификаты

Кооператив бренда

горячие продажи продукции

1. мы поставляем машины с поддержкой технологии батареи.

2. мы поставляем полный набор литиевая батарея оборудование для лабораторных исследований, пилотных исследований и производства Лин э.

упаковка и доставка

1 Стандартный экспортировала пакет: деревянные коробки упаковки для экспорта внутренней anticollision защиты, внешние.

2 Доставка Экспресс, по воздуху, по морю, согласно требованиям клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственных за ущерб во время процесса доставки, будет изменить часть ущерба для вас бесплатно.