• WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
Продукция
RTP Furnace

Стандартная компактная печь RTP с 4 "внутренним диаметром кварцевой трубки и цифровым вакуумметром до 1100ºC

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-4
  • :

    Xiamen
  • Оплата:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
  • WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • Wechat : 18659217588
Сведения о продукте

Стандартная компактная печь RTP с 4-дюймовой кварцевой трубкой и цифровым вакуумметром до 1100ºC


Tmax-1200x-4-RTP это компакт трубчатая печь для быстрой термической обработки с 4-дюймовым внутренним процессором трубные и вакуумные фланцы. предназначен для отжига полупроводниковых пластин или солнечные элементы диаметром до 3 ". tmax-1200x-4-rtp нагревается 8 единиц галогенной лампы мощностью 1 кВт с макс. скорость нагрева 50ºC / секунду. 30-сегментный прецизионный регулятор температуры с точностью +/- 1ºC встроен в печь для отопления, проживания и охлаждения на разных этапах. rs485 порт и управляющее программное обеспечение включены для контроля температуры профиль через ПК при одновременной работе печи. эта печь также может быть изменен в печь rte, css или hpcvd ( видеть ниже примечание к приложению)

технические характеристики

конструкция печи

  • двухслойная сталь        кожух с воздушным охлаждением поддерживает температуру поверхности печи ниже        60 ° С.
  • высокочистый волокнистый        изоляция из глинозема для максимального энергосбережения.
  • разделить крышку с блокировка защиты отключите питание, если        крышка открыта во время процесса нагрева печи.

входная мощность

208-240 переменного тока, 50/60 Гц, однофазный, макс. (60а   выключатель требуется)


нагревательные элементы

  • 8 шт. 1 кВт галоген        световая трубка, (диаметр = 10 мм, l = 300 мм, длина с подогревом        = 200 мм)
  • стандартный срок службы:        2000 часов (зависит от скорости нагрева)
  • галоген        световая трубка расходная. пожалуйста, нажмите на картинку слева, чтобы заказать        запасной

зона нагрева

12 "длина с 4" постоянной температурой зоны   в пределах +/- 5ºC однородности

рабочая температура

  • Макс. 1100ºC для & lt; 10        минут
  • 1000ºC макс. для & lt; 20        минут (примечание: если работать дольше, корпус печи будет & gt;        100oc, должен использовать вентилятор охлаждения снаружи)
  • 800ºC макс. за        & Лт; 120 минут
  • 600ºC макс. за        непрерывный

Максимум. степень нагрева

50ºC / сек

скорость охлаждения

  • Максимум. охлаждение: 60ºC / мин        (под вакуумом: 200 мторр), 117ºC / мин (под атмосферным        давление)
  • самое низкое охлаждение:        10 ° С / мин

термопара

тип k, головка термопары касается   держатель образца из нитрида алюминия снизу

регулятор температуры

  • регулятор температуры        Включено.
  • пропорционально-интегрально-дифференциальный        управление (pid control) и функция автонастройки
  • Запрограммировано 30 сегментов        с рампами, ступенями охлаждения и жилья
  • встроенный        сигнализация перегрева и сбоя термопары
  • +/- 1 ºC температура        точность контроля
  • по умолчанию db9 pc        порт связи
  • встретил сертифицированный

регулятор температуры (опционально)

  • температура мтс02-й        комплект управляющего ПО (для контроллеров серии yd518p) + 15-дюймовый ноутбук        пакет доступен на панели параметров.
  • Вы можете обновить        регулятор температуры до Eurotherm 3504        регулятор температуры который        полностью совместим с labview. этот пакет включает в себя        Eurotherm 3504, кабель связи (RS485 - USB) и        компакт-диск с программным обеспечением нажмите на картинку ниже, чтобы просмотреть полную спецификацию eurotherm 3504        регулятор температуры.

кварцевая трубка & amp; держатель образца

  • размер кварцевой трубки: 4,33 "o.d x        4,05 дюйма, длина 16,2 дюйма , один 3 "диаметр Aln        держатель образца для образцов отжига до 3 "диаметр        включен. Aln имеет очень высокую теплопроводность, которая обеспечивает        лучшая равномерность температуры в области образца.
  • необязательный: 3-й толстый графит        подложка может быть использован в качестве альтернативы Ain Plate.        (пожалуйста, нажмите рис-3 ниже, чтобы заказать)
  • необязательный: графитовый тигель: 87        мм od x 71 мм id x 12 мм высота с крышкой предназначен для        3 "держатель образца, также может быть модифицировано в RTE,        печь css или hpcvd с графитовым тиглем, покрытым        так.
  • держатель образца        съемный с фланца для использования печи RTP для других целей.

вакуумный фланец

  • KF-D25 высокого вакуума        фланец изготовлен из нержавеющей стали с двойной высокой температурой. силиконовые уплотнительные кольца,        игольчатые клапаны и рубашка водяного охлаждения.
  • требуется только вода        охлаждение в течение длительного времени при температуре & gt; 600 о с.
  • расход оборотной воды:        0,5 м 3 / Час.
  • выдвижной фланец        обеспечивает более простой способ загрузки, выгрузки образцов и др.        нужен конкретный процесс.
  • Вкладыш-состоянии        термопара для точного измерения.

вакуумный насос (опционально)

  • вакуумный насос eq-fyp        рекомендуется для этой печи. предельное вакуумное давление в этом        система может быть 10 ^ -3 торр. вакуумные сильфоны и зажимы включены в этот        пакет. Нажмите здесь, чтобы узнать характеристики вакуумного насоса eq-fyp.

водяное охлаждение (опционально)

  • охлаждающая вода        требуется.
  • Пожалуйста, убедитесь        расход охлаждающей воды ≥ 10 л / мин, температура воды & Лт;        25ºC; давление & gt; 25 фунтов на квадратный дюйм
  • мы предлагаем использовать        серия eq-kj5000 чиллер с рециркуляцией воды как        система охлаждения (заказывайте отдельно у сопутствующих товаров        ниже) для экономии воды.
  • предупреждение: это ртп        Максимальное время пребывания в печи должно составлять менее 600 секунд при        1000ºC ~ 1100ºC с водопроводной водой, иначе уплотнительное кольцо может расплавиться.

расходомер

один расходомер установлен на передней панели для   регулировка расхода газа от 16 до 160 мл / мин

вакуумметр

цифровой вакуумметр с диапазоном измерения   от 10 -4 до 1000 торр устанавливается на печь.

вакуумное давление & amp; газовая арматура

  • давление может достигать        50 мторр с помощью механического вакуумного насоса с адаптером kf25
  • давление может достигать 10 -4 торр        молекулярным насосом с адаптером kf25

Габаритные размеры

  • фланец закрыт:        760 мм (л) х 330 мм (ш) х 530 мм (ч) / фланец открыт: 1200 мм (л) х 330 мм (ш)        х 530 мм (ч)

нетто

70 кг (150 фунтов)

гарантия

ограниченная гарантия производителя сроком на один год со сроком службы   поддержка (расходные материалы, такие как технологические трубки, уплотнительные кольца и галоген   лампы не покрываются гарантией, пожалуйста, закажите   замены у сопутствующих товаров ниже).

ноутбук, программное обеспечение и управление Wi-Fi (опционально)

  • новый ноутбук с        Microsoft Windows 10 и Microsoft Office 2013 (30-дневная бесплатная пробная версия) для        немедленное использование.
  • на основе labview        система контроля температуры) позволяет пользователю редактировать        температурный профиль, управление рецептурой термообработки, запись и данные графика        для печей мти.
  • беспроводной пульт        Управление обеспечивает рабочий диапазон до 300 метров.
  • вышеуказанные функции        предоставляется по запросу за дополнительную плату (до 1000 долларов США). пожалуйста, свяжитесь с        нам для получения дополнительной информации.
  • нота:
    программное обеспечение совместимо только с mti's yudian        регулятор температуры
соблюдение пожалуйста, выберите сертификат в панели параметров:
сертификат ce & amp; ul / csa готово: ce утверждение, готово пройти ul / csa сертификат
ul certircate - ul apprval (ul 61010), за дополнительную плату
необязательный
  • Вы можете комбинировать печь rtp с высоковакуумной станцией или газовой ливреей в качестве вакуумной печи или системы cvd. нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть детали
  • для достижения высокой скорости охлаждения (& lt; 10ºC / секунду) вы можете выбрать печь RTP с выдвижным рельсом. Пожалуйста, нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть детали.

  • Вы можете заказать модуль контроля давления.

замечания по применению

  • трубчатые печи с        кварцевые трубки предназначены для использования под вакуумом и низким давлением        & Лт; 0,2 бара / 3 фунта / кв. Дюйм / 0,02 мПа. вакуумное давление может быть только        безопасно использовать до 1000 ° C. Расход газа должен быть ограничен        до & lt; 200 sccm (или 200 мл / мин) для уменьшения тепловых ударов в трубу
  • внимание: двухступенчатый        регулятор давления должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить        давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы. эта печь также может        быть модифицировано в печь rte, css или hpcvd с графитом        тигель с покрытием SIC (нажмите на картинку слева, чтобы узнать, как настроить        rte обработка сделай сам)
  • после cvd графен        необходимо перенести с металлического катализатора на другой субстрат для        большинство приложений. используя передача графена        лента Остаток может быть низким.

RTP Furnace


1. мы поставляем машины с поддержкой технологии батареи.

2. мы поставляем полный набор литиевое аккумуляторное оборудование для лабораторных исследований, экспериментальных исследований и производства лин е.


 Vacuum Tube Furnace


1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за ущерб во время процесса доставки, заменит часть повреждения для вас бесплатно.