1200 ° C вертикальная печь с радиочастотным генератором, газовая смесь и усилитель; насосная система

Tmax-1200-PECVD химическая серия осаждение из паровой фазы и химическое осаждение из паровой фазы (pecvd) многозонные печи с раздельными трубами оснащены известными Kanthal ® (Швеция) проволока нагревательные элементы встроены в высокое качество Mitsubishi ® (Япония) глинозем волокнистая изоляция. весь стальной двухслойный корпус обеспечивает долговечность и помогает минимизировать потери тепла на внешнюю поверхность.

работа печи контролируется shimaden ® (Япония) 40-сегментный цифровой контроллер со встроенным цифровым коммуникационным портом RS485 и USB-адаптер, позволяющий пользователю подключиться к ПК для удаленного управления и мониторинг печи. Вы также можете сохранить или экспортировать результаты теста.
все наши печи совместимый.

функции

· компактный, портативный и легкий дизайн

· нижняя обработка требуемые температуры сравнивают с обычными cvds.

· стресс фильма может быть контролируется методами смешивания высоких / низких частот.

· камера с разделенной печью для быстрый и простой доступ к трубке.

· стандартный пакет включает в себя комплект вакуумных уплотнительных фланцев из нержавеющей стали с клапанами и измерителем давления.

· на основе микропроцессора самонастраивающееся управление пид обеспечивает оптимальный тепловой процесс с минимальным перерегулирование.

· множественная атмосфера возможны процессы в одном цикле (например, сгорание связующего в воздухе и деталях спекание в грубом вакууме или в среде инертного газа.)

· встроенный амперметр и сдвоенный вольтметр для простого мониторинга и устранения неисправностей.

· встроенный компьютер интерфейс.

· тип длинной жизни k термопара.

· раздвижной вариант печи обеспечивает сверхбыструю скорость охлаждения

безопасность

· защитные устройства от перегрева вниз печи, если температура находится за пределами допустимого диапазона (см. руководство контроллера) или когда термопара сломана или неисправна.

· защита от сбоя питания возобновляет работу печи сразу после точки отказа, когда питание восстановила.

предупреждение! никогда не заполняйте печь взрывчаткой газы, в том числе водород, окись углерода и метан.

печь, вакуумный насос и спецификации системы смешивания газов

материал трубы	кварц
нагревательный элемент	Kanthal ® (Швеция)   провод катушки сопротивления
Максимум. против постоянной   рабочие температуры	1200 ° C макс. и   Постоянная 1100 ° C
термо пара   тип	К
огнеупорная футеровка	Mitsubishi ® (Япония)   1500 сорт волокна глинозема
температура   контроллер	shimaden ® (Япония)   fp93 с 4 программами и 40 сегментами (т.е. 4 х 10 сегментов или 2 х 20 сегментов)
максимальный обогрев   & Amp; скорость охлаждения	& Лт; 30 ° С / мин
температура   точность контроллера	+/- 1 ° C (+/-   1,8 ° F)
вакуумная герметизация   комплект фланцев	нержавеющая сталь   вакуумные уплотнительные фланцы с одним вакуумметром, два клапана и четыре термокерамических блока.
электрический   требования	220 В, 3,5 кВт,   один этап

технические характеристики ВЧ генератора

электрический   требования	208-240 вольт   50/60 Гц
выходная мощность	От 5 до 500 Вт,   регулируется с шагом +/- 1%
рф частота	13,56 МГц с   +/- 0,005% стабильности
сила отражения	Макс. 10 Вт
согласование	автоматический
рф выходной порт	50 Ом, n-тип,   женщина
охлаждение	воздуха

описание части	количество	часть изображения
сплит трубчатая печь	1 комплект
многоканальный газ   система питания	1 комплект
мощность ВЧ плазмы   поставка (опционально)	1 комплект
вакуумный насос и   корпус (опционально)	1 комплект
кварцевая трубка	1 шт
тефлоновая трубка (н   стенд для количества трубок)	п * 5
нержавеющая сталь   вакуумные уплотнительные фланцы с измерителем давления	1 комплект
нержавеющая сталь   крюк	1 шт
глинозем керамический   термоблок	2 пары
термальные перчатки	1 пара
высокая температура   аль 2 о 3 оксид алюминия   тигель	5 шт
запасной предохранитель	2 шт
USB / RS485 компьютер   комплект интерфейса	1 комплект
печь и   Руководство по контроллеру Shimaden	2 шт

1. мы поставляем машины с поддержкой технологии батареи.

2. мы поставляем полный набор литиевое аккумуляторное оборудование для лабораторных исследований, экспериментальных исследований и производства лин е.

1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за ущерб во время процесса доставки, заменит часть ущерба для вас бесплатно.