• WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
Продукция
Sliding PECVD System

1200 ℃ двухзонная раздвижная система pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-PECVD

  • :

    Xiamen

  • Оплата:

    L/C D/A D/P T/T Western Union

  • Delivery Time:

    5 days
  • WhatsApp : +86 13003860308
  • Отправить по электронной почте : David@tmaxcn.com
  • Отправить по электронной почте : Davidtmaxcn@gmail.com
  • Wechat : 18659217588
Сведения о продукте

1200 ℃ двухзонная раздвижная система pecvd


Тмакс-1200-1200 Двухтемпературная зонная система скольжения состоит из Тмакс-1200-1200 двухтемпературная вакуумная трубчатая печь скольжения, кварцевая вакуумная камера, радиоприемник Частотный источник питания, система подачи газа gx, насосная система и вакуум измерительная система.

Основные функции:

1. газ в кварцевая вакуумная камера переводится в ионное состояние от ВЧ источника питания.

2. Пеквд ниже нормы для химического осаждения из паровой фазы

3. стресс осажденные пленки можно контролировать по частоте ВЧ источника питания

4. Пеквд имеет высокая скорость осаждения, хорошая однородность, консистенция и стабильность, чем обычно CVD.

5. широко используется в росте различных пленок, таких как сиокс, синкс, сиоксный и аморфный кремний (a-si: h) и т. д.

этот слайд Техника двухтемпературной pecvd системы tl1200-1200 - быстрый нагрев, Температура охлаждения системы ПЭКВД, находится в температурном интервале двойная система pecvd установлена ​​на пару направляющих, доступна техника ручная раздвижная система.

отопление и скорость охлаждения до 100 ° С / мин.

чтобы получить Самый быстрый нагрев, предварительно нагрейте печь до заданной температуры, затем двигайте печь в положение образца.

чтобы получить Самое быстрое охлаждение, переместите печь на другой конец после того, как образец нагреется.

отопление и Скорость охлаждения в вакууме или среде инертного газа может достигать 10 ° С / с, является низкой Стоимость быстрого нагрева и охлаждения в диапазоне температур двойной системы pecvd техника.

1. кантал а1 провод сопротивления швеции

Kanthal a1 оригинальный провод китайского сопротивления проволочная печь против   импортная проволока сопротивления

(1), высокая температура поверхности может достигать 1420 ℃

(2) поверхность из нержавеющей стали (очень яркий, клиент следует обратить на это внимание), он не будет ржаветь, и время использования не упадет от шлака.

(3) данные кантал сопротивления провода загружаются

(4) веб-сайт провода сопротивления кантал: www.kanthal.com

(5) сопротивление уравновешено и поле температуры одинаково хорошо

Большинство производителей используют сплав Fe-CR-Al, легированный мо провод сопротивления, который

иногда сопротивление неравномерно и часть тепла мала                                           Kanthal Сопротивление a1 равномерно и тепло сбалансировано, хорошее температурное поле                                                                                                                                                                       эффект

2. установка воздуха выключатель и протектор утечки:

когда электрический ток или утечка, пустая встреча автоматически отключается.

3. можно подключить к компьютеру

эта печь оснащена коммуникационным интерфейсом и программное обеспечение, может быть непосредственно через компьютерный контроль печи каждого параметр, и можно наблюдать с компьютера pv на плиту и sv значение температуры и работа прибора, фактическая температура компьютер рисования кривой печи в режиме реального времени, и может хранить данные о температуре каждый раз, можете позвонить в любое время

4. камера

(1 ) высококачественный высокочистый глинозем поликристаллический печь с волоконным отверждением с вакуумным всасыванием и формовкой фильтра.

(2). принять японские технологии для формирования.

(3). расстояние и шаг сопротивления провода в печи расположены в соответствии с лучшими тепловыми технологиями Японии, а температурное поле моделируется тепловым программным обеспечением

(4). используя 4 недели нагрев, температура более сбалансирована

5. необязательный ul сертифицированная электрическая плата (вся сертификация импортируется электроприборы)

6. триггер

мягкий старт ограничитель тока                           большинство производителей используют неограничивающие триггеры xiamen bode

1 фазовый сдвиг (с плавным пуском и ограничением тока функция)

2. функция ограничения тока независимо от того, как отрегулировать отопление Время мы электропечи после вторичного тока трансформатора ограничено 170a или менее ограниченная защита оборудования. неограничивающий триггер, если скорость нагрева установлена ​​неправильно или слишком быстро. слаботочный ток очень Большое устройство отключится или сгорит.

3 функции плавного пуска ток будет медленно увеличивать Ток воздействия нагревательного элемента мал, способствует продление срока службы нагревательного элемента

4 функция защиты, если ток превышает предел текущий триггер автоматически отключит функцию триггера, чтобы отключить текущая защита печи.

7. ул сертифицированный трансформатор

1 кабель трансформатора чистый медь

2 трансформатор звук маленький

3 температура трансформатора низкий

8. Различные варианты выбора различных фланцев (диаметр от 25 до 250мм)

модель

Tmax-1200-1200 - я

Tmax-1200-1200-ии

Tmax-1200-1200-III

Tmax-1200-1200-IV

мощность

3 кВт

3 кВт

4 кВт

4 кВт

трубка   размер

120   диаметр от 1800 мм

60   диаметр от 1800 мм

80   диаметр от 1800 мм

100   диаметр от 1800 мм

в целом   Размеры (lxdxh)

1800   x480x680

1800   x410x610

1800   x410x610

1800   x460x660

  напряжение питания

220 В

горка   материал рельса

304   нержавеющая сталь

скольжение   Режим

нержавеющий   стальной подшипник качения

число   фазы

не замужем   фаза

обогрев   элемент

импорт   шведская канталь a1 сопротивление провода нажмите на данные загрузки

  режим управления

с помощью электрического термометра управления программой (стандарт)
1. 30 программ управления температурой интеллектуальная регулировка пид.
2. отопительный контур электропечи может быть автоматически отключен   когда он был защищен от тепла или сломан случайно. (когда печь   температура превышает 1200 градусов или термопара сломана, реле переменного тока   на главной цепи будет автоматически отключаться, главная цепь   сломан, свет на панели выключен, свет выключен, ограниченный защитный   электропечь
3. с интерфейсом связи 485 (стандарт и стандарт для выбора   програмное обеспечение)
4. имеет функцию защиты от сбоя питания, то есть когда питание   программа не будет запускаться с начальной температуры, но   Печь начнет подниматься при отключении питания.
прибор имеет функцию самонастройки температуры

(чтобы заменить импортируемый инструмент, нам нужно оплатить   другая плата.)

fp93   таблица контроля температуры (шимаден) Европейская   инструменты

сенсорный инструмент

  режим контроля температуры

ПИД-регулятор

сломаны   даже защита и отображение

да

над   защита от перегрева

да

над   текущая защита

да

контроль   точность

+ / -   1 ℃

  триггер

фаза   сдвиг триггера

электрический   бытовая техника

Чжэцзян   CHINT

кремний   управляемый выпрямитель

106 / 16e   западные ворота, германия

  самая высокая температура

температура   зона1: 1200 ℃ температурная зона 2: 1200 ℃

  номинальная температура

температура   зона 1: 1100 ℃ температурная зона 2: 1100 ℃

обогрев   темп

  20 ℃ / мин или меньше (можно изменить в соответствии с требованием)

рекомендуемые   степень нагрева

10 ℃ / мин или меньше

модель   термопары

зон   1: диапазон температур типа k 2: тип k

обогрев   длина

зон   1: диапазон температур 200 мм. 2: 200 мм

электрический   сертификация

в.п.

окружающих   температура поверхности

45 ℃ или менее

ВЧ   источник питания

(генератор плазмы)

мощность   диапазон выхода

0-500   вес

максимальная   отраженная сила

200   ш.

работает   частота

ВЧ:   13,56 МГц плюс или минус 0,005%

мощность   стабильность

+ / -   0,1%

гармоника   компонент

- 50   или меньше дбк

ВЧ   ширина

0-600   - мм регулируется

согласование   Режим

автоматический

охлаждение   Режим

воздуха   холодный

шум

  & Лт; 50 дБ

  радиочастотный интерфейс

50 Ом   n - тип

вход   мощность

208-240   - v 50/60 Гц

основной   параметры системы газоснабжения gx

масса   расходомер
стандартный ассортимент
с использованием контроллера протонного потока 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 слм
(вы можете выбрать диапазон диапазона и тип газа)
максимальное рабочее давление 3 мп
Точность плюс или минус 1,5%
падение давления & lt; 0,01 мПа & lt; p = "" & gt;
точность повторения плюс или минус 0,2% ф.с.

channles:

1, 2,   3, 4, 5, 6, 7, 8 (опционально)

совместный   тип

двойной   кассетный разъем из нержавеющей стали

система   диапазон рабочего давления

0,1 ~   0,5 мпа

работает   температура

5-45 ℃

давление   вакуумные часы

0,1 ~   От 0,15 до 0,01 мпа / кейс

статический   смесительная камера

dia50   х 400 мм

интерфейс

dia6   1/4"

  источник питания

220 В

размер

600   x600x600

гофрированный   труба

kf25x1000mm

  степень вакуума может быть достигнута с помощью этой системы

10-1   год

вакуум   дефлектор

kf25

VRD   до 8 вакуумный насос

модель

VRD   до 8

ограничения   частичное давление

5   х10-2 в год

входное отверстие   интерфейс выхлопа

kf25

двигатель   скорость

1440   оборотов в минуту

добыча   темп

2,2   л / с

двигатель   мощность

0,4   кВт

perfeer   Безмасляный многоступенчатый насос для корней acp1 (план 2)

модель

acp15

мощность   поставка

AC100   ~ 240 В 50/60 Гц

мощность

450 Вт

выпускной   интерфейс

kf25

вес

25 кг

  максимальная скорость утечки гелия

5 ·   10-8 в год м3 / с

экстремальный   степень вакуума

0.02   торр

  скорость извлечения

14 м3   / ч

модель

здр -   1

мощность

25 Вт

вакуум   диапазон измерения степени

0.1-10   5 в год

сопротивление   кремний

что   зы пришлось 52 т

Швеция   (Inficon) Пиран емкостный вакуумметр (опционально)

модель

pcg554

вход   вольтаж

24v   1а постоянного тока (оснащен трансформатором 220 В)

вакуум   измерительный интерфейс

kf16

цифровой   дисплей

цифровой   дисплей (размер экрана 20x14 мм), чей блок отображения данных - торр

продукт   размер

46мм   х 28 мм х 126 мм (д х ш х ч)

  вес

5 фунтов

обнаружение   газа

различный   газы могут быть обнаружены, включая смешанные газы, точные и повторяемые.

будь то   антикоррозийный

коррозия   защита

  время отклика

30 мс   или менее

измерения   ассортимент

3,8   х10-5-1125 торр.

молекулярная   насосный агрегат (опционально)

единица измерения   входное напряжение

380 В   / 220 В

гофрированный   труба

kf40x1000

вакуум   дефлектор

kf40

кейс   размер

600   x600x600

молекулярная   модель насоса

fj620

вход   вольтаж

380 В

молекулярная   входной фланец насоса

DN160

молекулярная   скорость откачки насоса л / с (для воздуха)

600

молекулярная   предельное давление насоса (Па)

6 х   10-7

охлаждение   система

воды   охлажденный

охлаждение   давление воды (мпа)

0,1   до 0,2

охлаждение   температура воды

& Лт;   25 ℃ & Лт; p = "" & gt;

  температура окружающей среды

0 ~   40 ℃

предложенный   начальное давление

& Лт;   100 в год & lt; p = "" & gt;

двигатель   вакуумный насос рвп - 6

мощность

0,75   кВт

вольтаж

380 В

скорость

1450   оборотов в минуту

входное отверстие   диаметр

kf25   / kf40

насос   скорость накачки (л / с)

6

окончательный   давление

4   х10-2 в год

Немецкий   вакуумный насос pfeiffer

вольтаж

220 В

мощность

110   ш.

добыча   интерфейс

kf40

  вес

150   кг

насос   скорость переднего насоса

0,9 м   3 / ч

добыча   скорость (n2)

33   Миз

соединение   вакуумметр

соединение   модель вакуумметра

ZDF

  источник питания

220 В   55 Вт

контроль   точность

плюс   или минус 1%

вакуум   измерительный диапазон

10-5-10   5 в год

части

число

tl1200-1200   трубчатая печь

1 комплект

кварц   трубка

1

сс   фланец

1 комплект

нержавеющий   стальной крюк

1

оксид алюминия   заглушка печи

3

высоко   температурные перчатки

1   пара

оксид алюминия   тигель

1

К термопара

1

485   преобразование интерфейсов и программного обеспечения ( необязательный )

1 комплект

инструкция   книга

1

фланец   служба поддержки

1

газ   система питания

1

против-0.1air   добывающая система

1

ВЧ   мощность

1

предохранительное кольцо

4 个

рев

1

вакуум   дефлектор

1

цилиндр   соединитель ( n обозначает количество каналов )

N

клапан   соединитель

2

птфэ   труба (n обозначает количество каналов)

п * 5

PECVD Furnace


1. мы поставляем машины с поддержкой технологии батареи.

2. мы поставляем полный набор литиевое аккумуляторное оборудование для лабораторных исследований, экспериментальных исследований и производства лин е.


laboratory muffle furnace


1 стандартная экспортная упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за ущерб во время процесса доставки, заменит часть ущерба для вас бесплатно.




Похожие теги :

раздвижная система pecvd 1200 Печи система pecvd
Продукция Новости Карта сайта XML О TMAX Вопросы и ответы Свяжитесь с нами Блог Главная
Авторское право © Xiamen Tmax Battery Equipments Limited.