Входная мощность

• 220 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза
• 800 Вт (включая помпу)
• Если напряжение составляет 110 В переменного тока, требуется трансформатор мощностью 1000 Вт, нажмите на картинку слева, чтобы заказать

Мощность источника

• Один ВЧ-генератор 13,5 МГц, 300 Вт с автоматическим согласованием Функция встроена в шкаф и подключена к 2-дюймовой распылительной головке.
• Дополнительно: источник питания постоянного тока для напыления доступен для покрытия металлических материалов.

Магнетронная распыляющая головка

• Одна 2-дюймовая магнетронная распыляющая головка с рубашками водяного охлаждения входит в комплект и вставляется в кварцевую камеру с помощью быстрого зажима.
• Одна заслонка встроена в фланец (с ручным управлением)
• Для охлаждения магнетронных распылительных головок требуется один охладитель рециркуляционной воды с цифровым управлением производительностью 16 л/мин.
• 1-дюймовая распылительная головка является сменной и опциональной за дополнительную плату.
• Радиочастотный кабель длиной 148 см заменяется за дополнительную плату.
• 

Распыление мишени

• Требование к размеру мишени: диаметр 2 дюйма x толщина 1/4 дюйма Макс.
• Одна мишень SiO2 включена для демонстрационного теста.
• Керамическая мишень Al2O3 Рекомендовать метод покрытия
• Дополнительные 2-дюймовые мишени для распыления (с опорной пластиной) доступны по запросу и за дополнительную плату.

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: внешний диаметр 160 мм, внутренний диаметр 150 мм, высота 250 мм. из кварца высокой чистоты
• Уплотнительный фланец: диаметр 165 мм. изготовлен из алюминия с уплотнительным кольцом из термостойкого силикона
• Сетчатая крышка из нержавеющей стали включена для 100% защиты радиочастотного излучения от камеры.
• Уровень вакуума: 1,0E-2 Торр с включенным двухступенчатым механическим насосом и 1,0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом

Держатель образца

• Держатель образца вращается и нагревается, изготовлен из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали.
• Размер держателя образца: диаметр 50 мм. для 2-дюймовой пластины макс.
• Скорость вращения регулируется: 1 - 10 об/мин для равномерного покрытия
• Температура держателя регулируется от комнатной температуры до 500 °C Max с точностью +/- 1,0 °C с помощью цифрового регулятора температуры.
• Держатель образца для нагрева 800-1000ºC доступен по запросу.
• Дополнительный вибрационный держатель образца доступен для покрытия Power PVD. (Рис 3 ниже)
• 

Вакуумная насосная станция

• Вакуумный порт KF25 встроен для подключения к вакуумному насосу.
• Вакуумный насос с адаптером KF25 требуется, но не входит в комплект. Пожалуйста, нажмите на картинку, чтобы заказать отдельно.
• Уровень вакуума: 1,0E-2 Торр с двухступенчатым механическим насосом и 1,0E-5 Торр с турбонасосом

По желанию

• В качестве опции предлагается прецизионный кварцевый датчик толщины, который можно встроить в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,10 Å. Ноутбук требуется для отображения толщины corve
• 

Габаритные размеры

Вес нетто

• 70 кг

Гарантия & усилитель; Согласие

• Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой
• CE сертифицирован
• Сертификация NRTL или CSA доступна по запросу за дополнительную плату.

Примечания по применению

• Эта компактная 2-дюймовая установка для нанесения покрытий методом магнетронного ВЧ-распыления предназначена для нанесения тонких оксидных пленок на оксидные монокристаллические подложки, что обычно не требует создания высокого вакуума.
• Используйте > Газ Ar чистотой 5N для плазменного напыления
• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
• Ультразвуковая очистка с последующими последовательными ваннами - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основание с помощью N2, затем запеките в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
• Плазменная очистка может потребоваться для придания поверхности шероховатости, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
• Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.
• Для лучшей производительности непроводящие мишени должны быть установлены с медной опорной пластиной. Пожалуйста, обратитесь к видео-инструкции ниже (#3) для целевого связывания.
• TMAX использует устройства для нанесения покрытий, которые успешно нанесли ZnO на алюминий. 2 О 3 подложка при 500 °C (профиль XRD на рис. 5)
• НЕ ИСПОЛЬЗУЙТЕ водопроводную воду в чиллере. В качестве охлаждающей жидкости используйте деионизированную воду, дистиллированную воду или антикоррозионные добавки.
•