Система термического испарения с четырьмя источниками с высокой точностью

Регулятор температуры

GSL-1700X-EV4 представляет собой компактную систему термического выпаривания с 4 тиглями для выпаривания и прецизионным и программируемым контролем температуры. Четыре испарительных тигля можно использовать для осаждения нескольких различных материалов для выращивания многослойных пленок один за другим в одной и той же атмосфере камеры. Система подходит для покрытия большинства металлических и органических материалов пленкой размером до 2 дюймов при температуре от 200 ºC до 1500 ºC (или от 200 ºC до 1700 ºC с дополнительной термопарой типа B).

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Структура и усилитель; Функции	280 мм Н.Д. x 260 мм внутр. диам. x 310 мм Высота кварцевой камеры для легкой очистки и загрузки образцов Вращающиеся испарительные источники диаметром 2 дюйма для равномерного пленочного покрытия Вольфрамовый спиральный нагреватель и тигель из оксида алюминия для высокотемпературного покрытия до 1700 ºC Точный контроль температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC Высокий вакуум может быть достигнут до 1,0E-5 Торр с помощью дополнительного турбонасоса. Порт подачи газа и клапан встроены для продувки камеры и возможности CVD
Входная мощность	Входное напряжение: 208–240 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза (110 В переменного тока через трансформатор мощностью 1500 Вт) Входная мощность: 1200 Вт выходная мощность:: 12 В, макс. ток 30 А. Рекомендуемый рабочий ток <30 А Кабель питания в комплекте без вилки
Контроль температуры и усилитель; Обогреватели	Четыре тигля для выпаривания глинозема емкостью 3 мл каждый. Четыре источника не могут быть использованы одновременно. Многослойный депозит будет выполняться один за другим. Вольфрамовый змеевиковый нагреватель с термопарой встроен в дно глиноземного тигля (для контроля температуры (рис. 1). Размеры указаны на левом рисунке). Стандартная термопара типа S (в комплекте и установлена) - нагрев от 200 ºC до 1500 ºC (РИС. 2) Дополнительная термопара типа B (за дополнительную плату) - нагрев от 1200 ºC до 1700 ºC Один цифровой регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC (РИС. 3) Настройки времени регулятора температуры указаны в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева/охлаждения до 0,3 ºC/с (или 20 ºC/мин) ниже 1200 ºC и ограничить до 0,15 ºC/с (или 10 ºC/мин) от 1200 до 1700 ºC Для непрерывного нагрева выше 1300 ºC, пожалуйста, ограничьте время работы менее чем 1 часом, чтобы сохранить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца. Для быстрого покрытия до 2000 °C, например, необходимого для углеродного покрытия, пользователь может удалить термопару, термоблок из оксида алюминия и тигель из оксида алюминия, загрузить испаряемый материал непосредственно в нагреватель с вольфрамовой спиралью и использовать текущий режим ручного управления (рис. 4). ) В комплект поставки входят четыре тигля из глинозема (до 1700 ºC) и два спиральных нагревателя из вольфрама. Пожалуйста, обратитесь к разделу «Опции» для заказа запасных частей.
Поворотный держатель образца	Один диаметром 50 мм. на верхнем фланце установлены поворотный предметный столик и его заслонка. Скорость вращения: 5 об/мин Расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм.
Система анализа толщины пленки (дополнительно)	Прецизионная тонкая пленка &amp; Системы анализа покрытий — EQ-TFMS-LD доступны за дополнительную плату.
Вакуум	Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу Максимальный вакуум может достигать <1E-5 Торр при откачивании в течение ночи дополнительным турбомолекулярным насосом. Для нанесения покрытия требуется вакуумный насос. Пожалуйста, выберите один из следующих вариантов продукта Двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос с уловителем паров для устранения масляного тумана, который может достигать вакуума до 1,0E-2 торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы.
Вход газа	Встроен штуцер на 1/4 для продувки камеры или обработки формовочного газа Один игольчатый клапан встроен для контроля расхода газа.
По желанию	Дополнительный алюминиевый тигель и вольфрамовый змеевиковый нагреватель можно заказать в TMAX за дополнительную плату.
Габаритный размер
Размер кварцевой камеры	Внешний диаметр: 280 мм (11 дюймов) Внутренний диаметр: 260 мм (10,2 дюйма) Длина: 310 мм (12,2 дюйма)
Согласие	Сертификат СЕ
Гарантия	Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой
Вес нетто	80 кг
Вес в упаковке и усилитель; Габаритные размеры	200 фунтов, 40 x 30 x 32 дюйма
Примечания по применению	Для достижения высокого вакуума, необходимого для испарения некоторых материалов, пользователь может Проверьте камеру, уплотнительное кольцо и фланец на наличие частиц, волокон или царапин. Используйте безворсовую ткань, смоченную изопропиловым спиртом (IPA), чтобы протереть поверхность. Используйте нагревательную ленту, чтобы прокалить камеру при 150 ºC, и предварительно нагрейте змеевиковый нагреватель и тигель до 500 ºC при перекачивании с помощью дополнительного турбонасоса в течение не менее 2 часов. Откачивайте камеру в течение ночи без нагрева, если требуется вакуум выше 1,0E-5 Торр. ЗАПРЕЩАЕТСЯ запускать программу нагрева или увеличивать ток вручную без закрытой камеры и вакуума! НЕ сбрасывайте вакуум и не останавливайте насос, когда установка для нанесения покрытий находится в режиме испарения! Во время остывания нагревателя прекращайте откачку или сбрасывайте вакуум ТОЛЬКО, когда температура упадет ниже 100 ºC!