Компактная структура

Входная мощность

• Одна фаза 220 В переменного тока 50/60 Гц
• 2000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)

Мощность источника

• Два источника питания для распыления интегрированы в один блок управления.
• Источник постоянного тока: мощность 500 Вт для покрытия металлических материалов (рис. 1)
• ВЧ-источник: мощность 300 Вт, частота 13,56 МГц для покрытия непроводящих материалов (рис. 2)

Магнетронная распыляющая головка

• Две 2-дюймовые магнетронные напыляющие головки с водяным охлаждением рубашки и жалюзи в комплекте
• Также доступна одна модель распыляющей головки на этой странице товара (в опциях товара)
• Один подключен к источнику постоянного тока для покрытия металлических материалов.
• Другой подключен к источнику RF для непроводящих материалов.
• Требование к размеру мишени: диаметр 2 дюйма
• Диапазон толщины: 0,1–5 мм для металлических и непроводящих мишеней (включая опорную пластину)
• Один Нержавеющая сталь Целевая цель и один исследовательский класс мишень Al2O3 включены для демо-тестирования
• Дополнительные 2-дюймовые мишени для распыления (или опорная пластина) доступны по запросу и за дополнительную плату.
• Рекомендуемый рецепт напыления и полезные советы
• Устройство для нанесения покрытий по индивидуальному заказу: две головки постоянного тока без RF; две ВЧ-головки без постоянного тока; 3 радиочастотные головки доступны по запросу
• Дополнительно: ВЧ-кабель длиной 148 см можно заказать за дополнительную плату для замены (щелкните 1-й рисунок справа, чтобы заказать)

Вакуумная камера

• Вакуумная камера: диаметр 300 мм. x 300 мм Высота, из нержавеющей стали
• Окно просмотра: две части диаметром 100 мм. стакан. Один фиксированный; один съемный для очистки и замены
• Крышка откидного типа с пневматическим силовым стержнем позволяет легко менять мишень

Этап образца

• Держатель образца представляет собой вращающийся и нагреваемый предметный столик из керамического нагревателя с медной крышкой.
• Размер держателя образца: диаметр 140 мм. за. 4-дюймовая пластина макс.
• Скорость вращения: от 1 до 20 об/мин, регулируемая для равномерного покрытия
• Температура держателя регулируется от комнатной температуры до 500 °C (максимум 2 часа) с точностью +/- 1,0 °C с помощью цифрового регулятора температуры.

Контроль расхода газа

• Два прецизионных регулятора массового расхода (MFC) установлены для обеспечения подачи двух типов газов.
• Скорость потока: 0 – 200 мл/мин регулируется на сенсорной панели управления
• Клапан подачи воздуха установлен для сброса вакуума

Вакуумная насосная станция

• Имеется мобильная насосная станция. Установка для нанесения покрытий может быть размещена над станцией.
• Высокоскоростной турбонасос со скоростью 80 л/с в сочетании с двухступенчатым механическим насосом (220 л/мин) для максимального уровня вакуума и более высокой скорости откачки
• Стандартный уровень вакуума в камере: < 4,0E-5 торр. . (1,0E-6 Торр с камерной обжигой)
• Дополнительно за дополнительную плату
• Если выбрать высокоскоростной турбонасос 150 л/с, вакуум может достигать 10-6 торр с камерой (6x10-7 торр с выпечкой).
• Для сверхвысокого вакуума до 10^-7 торр в дополнение к турбонасосу необходим геттерный насос (100 л/с H2 и O2). Пожалуйста, проконсультируйтесь с нашими инженерами для подробной настройки.
• 

Охладитель воды

• Один цифровой контроль температуры охладитель рециркуляционной воды Включено.
• Диапазон охлаждения: 5~35 °C
• Скорость потока: 16 л/мин.
• Давление насоса: 14 фунтов на квадратный дюйм

По желанию

• Точный кварц Монитор толщины пленки не является обязательным, который может быть в камере для контроля толщины покрытия с точностью до 0,10 Å
• Точность Тонкая пленка & усилитель; Системы анализа покрытий — EQ-TFMS-LD доступен за дополнительную плату
• Различные 2-дюймовые мишени из оксида и металла доступны по запросу и за дополнительную плату. Серебряные эпоксидные и медные подложки можно заказать в MTI.

Габаритные размеры

Вес нетто устройства для нанесения покрытий

• 160 кг

Вес в упаковке и усилитель; Габаритные размеры

• Всего 2 поддона
• № 1: 520 фунтов, 52 x 40 x 50 дюймов.
• № 2: 420 фунтов, 48 x 40 x 45 дюймов.

Согласие

• одобрение СЕ
• Сертификация MET (UL 1450) предоставляется по запросу и за дополнительную плату. Пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения предложения.

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 МПа для безопасного использования.
• Чтобы удалить кислород из камеры, мы предлагаем вам использовать 5% водорода + 95% азота для очистки камеры 2-3 раза, что может снизить уровень кислорода до < 10 частей на миллион
• Используйте > Газ аргон чистоты 5N для плазменного напыления. Несмотря на то, что Ar чистотой 5N обычно содержит 10–100 частей на миллион кислорода и H2O в зависимости от поставщика. MTI предлагает вам использовать устройство газоочистки для очистки газа перед заправкой.
• Для лучшей производительности непроводящие мишени должны быть установлены с медной опорной пластиной. Пожалуйста, обратитесь к видео-инструкции ниже для целевого соединения
• TMAX поставляет монокристаллическую подложку от А до Я
• Установки для напыления TMAX успешно нанесли ZnO на алюминий 2 О 3 подложка при 500 °C
• Проверьте гибкость тонкопленочного/покрытого электрода с EQ-MBT-12-LD Прибор для испытаний на изгиб оправки .
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распылительные головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен отключить генератор ВЧ/постоянного тока перед загрузкой образца и операциями смены мишени.
• НЕ ИСПОЛЬЗУЙТЕ водопроводную воду в чиллере. Используйте охлаждающую жидкость, деионизированную воду, дистиллированную воду или антикоррозионные присадки с водой.