Входное напряжение

• 220 В переменного тока 50/60 Гц
• Питание 110 В доступно при использовании Трансформатор 1000 Вт (предохранитель 15 А ). Трансформатор продается отдельно.

Выходная мощность

• 1600 В постоянного тока
• 250 Вт
• 150 мА макс.
• Встроенная защита от перегрузки по току (>150 мА)

Камера для образцов

• Трубка из кварцевого стекла, наружный диаметр 165 мм. X 150 мм внутренний диаметр x 250 мм высота

Распылительная головка &
Стадия образца

• В комплект входит 2-дюймовая гибкая магнетронная распылительная головка с рубашкой водяного охлаждения (рис.1)
• Один предметный столик из нержавеющей стали диаметром 50 мм может вращаться в диапазоне от 0 до 5 об/мин.
• Один затвор с ручным управлением для защиты цели. (Рис.2)
• Держатель распылительной головки предназначен для удержания распылительной головки в нерабочем состоянии.
• Расстояние между распылительной головкой и предметным столиком регулируется в пределах 60–100 мм.
• Максимальная площадь покрытия: диаметр 4 дюйма макс.
• Один Охладитель воздуха с рециркуляцией холодной воды, расход 10 л/мин включен для охлаждения напыляющей головки. (Рис.6)
• 

Панель управления

• 6-дюймовая цветная сенсорная панель управления с интегрированным ПЛК для удобства эксплуатации
• Одна панель для контроля и управления всеми параметрами: вакуум, ток.

Предельное давление вакуума

• Встроенный вакуумный порт KF25
• Для системы требуется газовый баллон Ar с регулятором давления. (не включено)
• < 1.0E-2 Торр от Лопастной вакуумный насос (не входит в комплект) для мишеней Au, Ag, Pt, Cu, Mo (не чувствительны к воздуху)
• < 1.0E-5 торр Турбомолекулярный насос (не входит в комплект) для целей Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn (чувствительных к воздуху)
• Самый низкий вакуум может достигать < 4,0E-6 торр при откачивании в течение ночи и выпекании

Газовая атмосфера

• Установлен один игольчатый клапан, позволяющий вводить газ Ar для достижения лучшего плазменного покрытия.
• Для системы требуется газовый баллон Ar с регулятором давления (не входит в комплект)

Цель

· Для тестирования включена одна медная мишень диаметром 2 дюйма. Размер мишени: диаметр 2 дюйма x 2,5 мм.

• Он также может покрывать Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg и т. д. почти все виды металлических материалов.
• Предупреждение : Цель из алюминия, хрома или никеля может быть покрыт этой машиной, но, пожалуйста, ознакомьтесь с рекомендуемым методом покрытия перед использованием.
• Пожалуйста, используйте РЧ плазменное магнетронное напыление для покрытия глинозема

Дополнительный монитор толщины пленки

• Монитор толщины пленки не является обязательным за дополнительную плату
• Подогреваемый столик для образцов до 500°C доступен по запросу и за дополнительную плату.
• Расходомер для точного контроля подачи газа предоставляется по запросу и за дополнительную плату.

Габаритный размер

• Д 440 мм × Ш 330 мм × В 290 мм

Вес нетто

• 20 кг

Вес в упаковке и усилитель; Измерение

• 160 фунтов
• 45" х 45" х 40"

Согласие

• одобрение СЕ
• Сертификация NRTL предоставляется по запросу и за дополнительную плату. Пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для получения предложения.

Гарантия

• Ограничение на один год с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Предупреждение: Распылительная головка подключается к ВЫСОКОМ напряжению. Оператор должен носить перчатки во время работы
• Перед нанесением покрытия убедитесь, что мишень, распылительная головка, подложка и нагревательный столик чистые, необходимо использовать наждачную бумагу и спирт для очистки и освежения мишени из алюминия или никеля каждый раз при использовании.