Особенность

• Специально разработан для покрытия проводящей золотой пленки для образца SEM
• Компактная установка плазменного напыления, предназначенная для металлических покрытий, таких как золото, платина и серебро.
• Один 2-дюймовая золотая (4N) мишень Включено

Входное напряжение

• 220 В переменного тока, 50/60 Гц, 200 Вт
• < 1000 Вт (включая мощность вакуумного насоса)
• Питание 110 В переменного тока доступно при использовании Трансформатор 1000 Вт (предохранитель 15 А) . Трансформатор продается отдельно

Выходное напряжение

• 500 В постоянного тока

Ток распыления

• 0 - 50 мА (макс.) регулируемый ток распыления
• Цифровой амперметр (мА)
• Защита от сверхтока

Время распыления

• 1-120 секунд регулируется

Камера для образцов

• Трубка из кварцевого стекла, наружный диаметр 165 мм. x 150 мм внутренний диаметр x 150 мм высота

Стадия образца

• 2 "диаметр
• регулируемая по высоте, 30 - 80 мм от образца до мишени

Распыляющая головка

• 2-дюймовая магнетронная распылительная головка
• Один затвор с ручным управлением для защиты цели

Вакуумное давление

• Цифровой вакуумметр (Па)
• Соединитель вакуумного насоса KF25
• Предельное вакуумметрическое давление 1 Па механическим насосом. Насос не входит

Вакуумный насос (дополнительно)

• Рекомендуется двухступенчатый пластинчато-роторный насос EQ-FYP.
• Необязательно: вы можете использовать турбонасос для достижения вакуума 1,0E-5 Торр с помощью турбонасоса (щелкните нижнее правое изображение)

Входной газ

• Для подсоединения баллона с инертным газом установлен один трубный фитинг 1/4 Swagelok.
• Один дозирующий клапан находится на передней панели для регулировки подачи газа.

Цель

• Один диаметром 50 мм. х 0,12 мм золотая мишень включена
  
  
• Золотая фольга чистоты 4N: диаметр 50 мм (2 дюйма). x 0,12 мм (входит в комплект поставки и предварительно установлен на устройстве для нанесения покрытий)
  
• Доступны дополнительные цели (Нажмите ниже, чтобы заказать)
  • Цель Au (диаметр 50 мм x 0,12 мм, чистота 4N)
  • Цель Pt (диаметр 50 мм x 0,12 мм, чистота 4N)
  • Цель Ag (диаметр 50 мм x 0,5 мм, чистота 4N)

Эта модель подходит для покрытия золотом, серебром и платиной. Он не подходит для покрытия легких металлических материалов, таких как мишени из алюминия, магния, цинка или углерода, из-за низкой энергии. Пожалуйста, обратите внимание на нашу мощную установку для нанесения покрытий методом магнетронного напыления постоянным током/радиочастотой или термическим испарением.

Размер и вес продукта

• 460 мм (Д) × 330 мм (Ш) × 520 мм (В)
• 20 кг

Вес в упаковке и усилитель; Измерение

• 80 фунтов
• 45" х 45" х 40"

Согласие

• Сертифицированный CE
• Готов пройти сертификацию UL/CSA за дополнительную плату.

Гарантия

• Ограничение на один год с пожизненной поддержкой

Примечания по применению

• Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
• Ультразвуковая очистка (Нажмите на картинку ниже, чтобы заказать) со следующими последовательными ваннами - (1) ацетон, (2) изопропиловый спирт - для удаления масла и жира. Высушите основание с помощью N2, затем запеките в вакууме, чтобы удалить впитавшуюся влагу.
• Плазменная очистка (Нажмите на картинку ниже, чтобы заказать) может потребоваться для придания шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений.
• Тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как Cr, Ti, Mo, Ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов.

• Двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 МПа для безопасного использования. Используйте > Газ Ar чистотой 5N для плазменного напыления
• Установка для нанесения покрытий может быть помещена в перчаточный бокс с газом Ar и N2 для нанесения покрытия.
• Пожалуйста, наносите несколько слоев, чтобы увеличить толщину покрытия, дайте машине остыть в течение нескольких минут между каждым использованием, так как она не имеет водяного охлаждения.
• ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распылительные головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключать оборудование перед загрузкой образца и операциями смены мишени.
• Эта модель не подходит для покрытия легких металлических материалов, таких как алюминий, магний, цинк или углерод, из-за низкой энергии. Пожалуйста, рассмотрите нашу установку для нанесения покрытий магнетронным напылением или термическим испарением. (Нажмите на картинку ниже, чтобы узнать подробности)