Прецизионная высоковакуумная термическая установка для нанесения покрытий с контролируемой температурой

GSL-1700X-SPC-2 представляет собой компактную установку для термического испарения с точным и программируемым контролем температуры, которая подходит для покрытия большинства металлических и органических материалов пленкой размером до 2 дюймов при температуре от 200 ºC до 1500 ºC (или от 200 ºC до 1700 ºC). с дополнительной термопарой типа B. Встроенный вращающийся держатель образца обеспечивает равномерное покрытие пленкой.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Структура и усилитель; Функции	Кварцевая камера с наружным диаметром 6 дюймов и высотой 10 дюймов для легкой очистки и загрузки образцов Вращающийся держатель образца диаметром 2 дюйма для равномерного покрытия пленкой Вольфрамовый спиральный нагреватель и тигель из оксида алюминия для высокотемпературного покрытия до 1700 ºC Точный контроль температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC Высокий вакуум может быть достигнут до 1,0E-5 Торр с помощью дополнительного турбонасоса. Порт подачи газа и клапан встроены для продувки камеры и возможности CVD
Входная мощность	Входное напряжение: 208–240 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза Входная мощность: 500 Вт Выходная мощность: максимальный ток 40 А. Рекомендуемый рабочий ток <20 А Кабель питания в комплекте без вилки
Контроль температуры и усилитель; Обогреватели	Вольфрамовый змеевиковый нагреватель с термопарой встроен в дно глиноземного тигля (для контроля температуры (рис. 1). Размеры указаны на левом рисунке). Стандартная термопара типа S (в комплекте и установлена) - нагрев от 200 ºC до 1500 ºC (РИС. 2) Дополнительная термопара типа B (за дополнительную плату) - нагрев от 1200 ºC до 1700 ºC Один цифровой регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC (РИС. 3) Настройки времени регулятора температуры указаны в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева/охлаждения до 0,3 ºC/с (или 20 ºC/мин) ниже 1200 ºC и ограничить до 0,15 ºC/с (или 10 ºC/мин) от 1200 до 1700 ºC Для непрерывного нагрева выше 1300 ºC, пожалуйста, ограничьте время работы менее чем 1 часом, чтобы сохранить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца. Для быстрого покрытия до 2000 °C, например, необходимого для углеродного покрытия, пользователь может удалить термопару, термоблок из оксида алюминия и тигель из оксида алюминия, загрузить испаряемый материал непосредственно в нагреватель с вольфрамовой спиралью и использовать текущий режим ручного управления (рис. 4). ) В комплект поставки входят четыре тигля из глинозема (до 1700 ºC) и два спиральных нагревателя из вольфрама. Пожалуйста, обратитесь к разделу «Опции» для заказа запасных частей.
Держатель образца	Один диаметром 50 мм. на верхнем фланце установлены поворотный предметный столик и его заслонка. Скорость вращения: 5 об/мин Расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм.
Монитор толщины пленки (дополнительно)	Прецизионный кварцевый датчик толщины является необязательным. Он может быть встроен в камеру для мгновенного контроля толщины пленки с точностью до 0,10 Å. Светодиодный дисплей вне камеры может: · Ввод информации о материале покрытия на основе включенной базы данных Отображение общей толщины покрытия и скорости покрытия Точность Тонкая пленка & усилитель; Системы анализа покрытий — EQ-TFMS-LD доступен за дополнительную плату
Вакуум	Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу Максимальный вакуум может достигать <4,0E-6 Торр при откачивании в течение ночи дополнительным турбомолекулярным насосом. Для нанесения покрытия требуется вакуумный насос. Пожалуйста, выберите один из следующих вариантов продукта Без вакуумного насоса. Антикоррозийный емкостной мембранный манометр включен для вакуума до 1,0E-6 Торр Двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос с уловителем паров для устранения масляного тумана, который может достигать вакуума до 1,0E-2 торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы.
Вход газа	Встроен штуцер на 1/4 для продувки камеры или обработки формовочного газа Один игольчатый клапан встроен для контроля расхода газа.
По желанию	Дополнительный глиноземный тигель а также вольфрамовый змеевиковый нагреватель можно заказать в TMAX за дополнительную плату Всего можно использовать 4 тигля с источниками испарения для осаждения нескольких различных материалов для выращивания многослойных материалов один за другим в одной и той же атмосфере камеры.
Габаритный размер
Размер кварцевой камеры	Внешний диаметр: 165 мм Внутренний диаметр: 150 мм Длина: 250 мм
Согласие	Сертификат СЕ
Гарантия	Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненная поддержка
Вес нетто	50 кг
Вес в упаковке и усилитель; Габаритные размеры	130 фунтов, 40 дюймов х 30 дюймов х 32 дюйма
Примечания по применению	Для достижения высокого вакуума, необходимого для испарения некоторых материалов, пользователь может Проверьте камеру, уплотнительное кольцо и фланец на наличие частиц, волокон или царапин. Используйте безворсовую ткань, смоченную изопропиловым спиртом (IPA), чтобы протереть поверхность. Используйте нагревательную ленту, чтобы пропечь камеру при 150 ºC, и предварительно нагрейте змеевиковый нагреватель и тигель до 500 ºC, откачивая с помощью дополнительного турбонасоса в течение не менее 2 часов. Откачивайте камеру в течение ночи без нагрева, если требуется вакуум выше 1,0E-5 Торр. Устройство для нанесения покрытий можно поместить в перчаточный бокс с газом Ar или N2 для термического испарения humility &amp; чувствительные к кислороду материалы, такие как металлический литий. ЗАПРЕЩАЕТСЯ запускать программу нагрева или увеличивать ток вручную без закрытой камеры и вакуума! НЕ сбрасывайте вакуум и не останавливайте насос, когда установка для нанесения покрытий находится в режиме испарения! Во время остывания нагревателя прекращайте откачку или сбрасывайте вакуум ТОЛЬКО, когда температура упадет ниже 100 ºC!