Высоковакуумное магнетронное ионное напыление постоянного или высокочастотного тока

Высоковакуумное магнетронное ионное напыление постоянного или высокочастотного тока Вступление Высокий Вакуумная магнетронно-ионная установка для нанесения покрытий идеально подходит для материаловедения и пробоподготовки. Он широко используется в большинстве университетов и научно-исследовательских институтов материаловедения и инженерии для покрытия металлов, керамики, полупроводников, изоляторов или других видов подготовки мембранных материалов. Высоковакуумная установка для нанесения покрытий с магнетронным ионным напылением обеспечивает наиболее стабильную среду для напыления и достигает основных экспериментальных условий магнетронного напыления за очень короткий период времени. Он обеспечивает два варианта мощности распыления DC / RF, которые позволяют распылять проводящее или непроводящее вещество на образец и улучшают характеристики физического осаждения из паровой фазы (PVD). Он также отлично подходит для обработки поверхности и покрытия. Он также прост в эксплуатации и удобен для пользователя. Вакуумный насос и чиллер включены. Параметр Вакуум п ум с эт ( О иль обязательно) р отарий в вакуум п умп+( о я свободен) т городской м олекулан п умный набор Ротари п трахаться с мочился 50 Гц : 16 м³ / ч (4,4 л/с)/ 60 Гц: 19,2 м³ /ч (5,2 л/с) молекулярный п трахаться с мочился 300 л/ с Вакуум л подражать 5* 10 -5 Па Работающий п давление 0,5-5 Па Пылесосить т я мне > 10 мин (10 -3 Па) Вакуум м легкость Диапазон измерения от атмосферы до 1*10 -6 Па Газ с контролировать Газ ф низкий с контролер Камера с размер φ260*200 мм (высота) м и другие Магнетрон т цель с источник Размер мишени φ 50*3 мм (медь)/ т целевой источник: ж эак м магнитный с вещество / м материалы Операция м метод Руководство по эксплуатации л Масса/ с размер 100 кг/610 мм длина x 420 мм ширина х 490 мм в высоту Мощность с повышать 110 В переменного тока 60 Гц или 220 В переменного тока 50 Гц Мощность с принятие <3000 Вт Охлаждение м метод Воздух с оолинг ( п умп)+ ж после с оолинг ( с возиться т арджет) Гарантия Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой продукта